主要應(yīng)用于處理氣體的精密控制、在等離子清洗過程中氣體流混合和真空艙內(nèi)壓力監(jiān)控。

技術(shù)參數(shù)：

緊湊的臺式設(shè)備、符合CE 安全標(biāo)準(zhǔn)

兩個標(biāo)準(zhǔn)的氣體流量計(0.104 scfh & 0.22 scfh)
真空壓力傳感器..............................熱電偶真空計
壓力表.............................................數(shù)字壓力
壓力范圍..........................................1 -1999 毫托
氣體通路..........................................可同時通2路氣體
流量計1 ..........................................參考刻度值65mm（4~49 mL/min）
49 毫升/分鐘的zui大流量 大氣（0 PSIG）*
流量計2 ...........................................參考刻度值65mm（10~104 mL/min）
104 毫升/分鐘的zui大流量 大氣（0 PSIG）*
流量計精度....................................... 滿刻度的± 2％
流量計zui大工作壓力/溫度................ 200 PSIG / 250℉（121℃）
不銹鋼氣源輸入接口......................... dia.6mm
不銹鋼氣源輸出接口......................... dia.6mm
常用工作氣體：空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)饣蚧旌蠚怏w等