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日本electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ

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日本electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ
直流濺射類別中該系列中小的超緊湊機型
小型濺射裝置,可以輕松地制造電極薄膜
標配間歇濺射功能
使用的樣品臺和載物臺可以輕松更改TS之間的距離。

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日本electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ

日本electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ

日本electron臺式快速涂布機SC-701MkⅡ

 

 

特征

  • 直流濺射類別中該系列中小的超緊湊機型
  • 小型濺射裝置,可以輕松地制造電極薄膜
  • 標配間歇濺射功能
  • 使用樣品臺和載物臺可以輕松更改TS之間的距離。
 

應(yīng)用/結(jié)果示例

  • 各種設(shè)備的電極膜附件
  • 用于制造反射薄膜等的應(yīng)用
 

基本規(guī)格

陰極φ2英寸/平板型電極
濺射靶包含金靶
氣體導(dǎo)入機制針閥
間歇功能標配
真空泵直連式旋轉(zhuǎn)泵:20l / min(帶自動泄漏)
箱體尺寸內(nèi)徑φ90mmx D90mm(SUS制)
樣品交換方法前門開合式
尺寸(寬/深/高)主體:160/326 / 286mm RP:300/160 / 200mm
重量身體:10公斤RP:9公斤

深圳市秋山貿(mào)易有限公司

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