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- 公司名稱 廣州競(jìng)贏化工科技有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時(shí)間 2021/3/17 17:18:01
- 訪問(wèn)次數(shù) 58
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高分辨率膜厚測(cè)控儀的原理是:石英晶振片的振動(dòng)頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化
高分辨率膜厚測(cè)控儀的原理是:石英晶振片的振動(dòng)頻率隨其表面所沉積膜的質(zhì)量不同而變化。根據(jù)這一特性,可以通過(guò)測(cè)量石英晶振片的振動(dòng)頻率變化,以計(jì)算出沉積膜的質(zhì)量多少。再通過(guò)已知的膜密度和面積,而終精確計(jì)算出所沉積膜的厚度。
性能參數(shù):
膜厚范圍: | 0.0 - 999.9nm |
分 辨 率: | 0.1nm |
密度范圍: | 0.50 - |
修正因子: | 0.25 - 8.0 |
存儲(chǔ)功能: | 可存儲(chǔ)4組密度和修正因子數(shù)據(jù) |
鍍膜控制: | 可根據(jù)所設(shè)定的膜厚要求自動(dòng)終止鍍膜過(guò)程 |
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