SLM 266系統(tǒng)是一種單頻全固態(tài)激光器，應(yīng)用于深紫外領(lǐng)域，如晶圓表面檢測(cè)、光譜儀校準(zhǔn)和全息應(yīng)用。頻譜帶寬<80MHz，接近其理論的傅里葉極限。該激光器提供8-10ns的短脈沖，其衍射極限光束下M²＜1.7，重復(fù)頻率1到15kHz。在波長(zhǎng)為266nm下平均功率高達(dá)500mW以上， 并且擁有超穩(wěn)定的脈沖痕跡和與傳統(tǒng)激光器相比的1.8m的相干長(zhǎng)度。由于CW模式的單頻種子源，連續(xù)的激光脈沖保持在同一相位，允許穩(wěn)定的干涉模式，所以可以應(yīng)用到直接曝光光刻上。另外500 mW的平均功率允許短的曝光時(shí)間，實(shí)現(xiàn)大的吞吐量。

特點(diǎn)：

● 單縱模

● TEM00光束

● Q開關(guān)全固態(tài)激光器

● 波長(zhǎng)266 nm

應(yīng)用：

○ 晶圓表面檢測(cè)

○ 光譜儀校準(zhǔn)

○ 光刻

○ 光致發(fā)光

○ 全息成像

○ 干涉測(cè)量

○ 拉曼光譜

○ 度量衡學(xué)

可選項(xiàng)：

○ 圖形用戶界面

○ Labview庫(kù)文件

○ CDRH符合性快門

典型參數(shù)&光斑輪廓

激光頭尺寸：

系統(tǒng)尺寸：

電學(xué)參數(shù)：