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氮分子激光器

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氮分子激光器

PLASMA公司是世界上的氣體激光器生產(chǎn)商,其產(chǎn)品主要特點(diǎn)是高質(zhì)量、長壽命。

氮分子激光器的發(fā)射帶在UV波段,主要是337.1nm 357.7 nm、315.9 nm。

PLASMA 擁有橫向和縱向激勵的脈沖氮分子激光器,由于其*的性能(波長337nm、脈沖寬度小于10ns、平均功率0.01-1W),被廣泛應(yīng)用于微電子領(lǐng)域如光掩模、復(fù)雜的集成電路、薄膜電阻的生產(chǎn)、處理。由于其短波長更易聚焦得到小光斑,因此被用于加工亞微米量級的元件。此外,還被用于多種感光材料的高效曝光光源。

性能參數(shù):

型號

NPL-3

LGI-505

LGI-511

波長, μm

0.337

0.337

0.337

脈沖能量, μJ

30

120

240

平均功率, mW
風(fēng)冷
水冷

3


40
120



240

模式

TEMoo

TEMmn

TEMmn

脈沖重復(fù)頻率:
風(fēng)冷
水冷

1-100


5-400
5-1000

1-1000

脈沖寬度, ns

5

6-8

6-8

光束直徑, mm

2

5

5

發(fā)散角, mrad

-

7

12

制冷

風(fēng)冷

風(fēng)冷
水冷

水冷

平均壽命, h

5000

5000

5000

尺寸, mm

590×255×155

激光頭:840×343×238
電源:484×510×212

1140×525×345

重量, kg

10

激光頭:35
電源:35

105

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激光功率計/能量計

光纖光譜儀


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