氣體

ArF

KrF

波長（nm）

193

248

高壓開關(guān)

固體開關(guān)

固體開關(guān)

大脈沖能量(mJ)¹⁾

10

15

大平均功率

ATLEX-300-FBG

ATLEX-500-FBG （W）

2.4

4.0

4.0

6.5

空間相干性 （μm）

＞300

＞300

重頻

ATLEX-300-FBG

ATLEX-500-FBG (Hz)

300

500

脈沖寬度 （ns）

5-8

光束尺寸（V x H）(mm)2)

4x6

發(fā)散角（V x H）（mrad）²⁾

1x2

能量穩(wěn)定性

＜3%

尺寸 (mm)

540x470x370

重量 （kg）

60

冷卻方式

Air

供電要求

230VAC/6,3A/50-60Hz/1Phase