與普通CVD相比較，其沉積溫度大大降低，減少了高溫多薄膜損壞可以通過(guò)爐體滑動(dòng)來(lái)達(dá)到快速升溫 和快速障溫的效果

爐體有兩個(gè)溫區(qū)，可在爐體內(nèi)形成溫度梯度，兩個(gè)溫區(qū)溫差為400℃管式爐工作溫度為1100℃

帶有預(yù)熱爐，溫度為1100℃，氣體可通過(guò)此爐預(yù)熱也可將液體蒸發(fā)氣化或固體原料升華后與氣體原料混合。

雙溫區(qū)滑軌爐

連續(xù)工作溫度為1100℃

爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維，并且內(nèi)爐膛表面涂有美國(guó)進(jìn)口的1750度高溫氧化鋁涂層，可以提高加熱效率，反射率及延長(zhǎng)儀器的使用壽命（點(diǎn)擊文字查看詳細(xì)資料）兩個(gè)溫控系統(tǒng)獨(dú)立控制兩個(gè)溫區(qū)，都可設(shè)置30段升降溫程序每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為200mm總溫區(qū)長(zhǎng)度∶ 400mm

恒溫區(qū)∶200mn（兩個(gè)溫區(qū)設(shè)置同樣的溫度）注∶由于則量手段及外部環(huán)境的影響，則里結(jié)果可能會(huì)有偏差，此參數(shù)僅供參考不作為該設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)。您購(gòu)買(mǎi)產(chǎn)品需要準(zhǔn)確的恒溫區(qū)數(shù)據(jù)，請(qǐng)與我公司銷(xiāo)售人員

兩個(gè)溫區(qū)溫差為∶400℃爐管材料∶高純石英管

石英管尺寸∶50mm OD x 44ID x 2200mmL所需電源∶208-240VAC單相

功率∶4KW

輸出功率∶ 5 -500W可調(diào)穩(wěn)定性為∶ +/-1%

射頻電源頻率∶1356MH， 穩(wěn)定性=0.005%

反向功率∶200W

射頻電源電子輸出口∶50ΩN型半導(dǎo)體.

陰極噪音∶<50 dB.

冷卻方式∶空氣冷卻

輸入電源∶208-240VAC，50/60Hz

一款小型單溫區(qū)管式爐，加熱區(qū)為200mm

溫度∶ 1100℃

可設(shè)置30段升降溫程序控溫儀表操作視頻

氣體通過(guò)等離子射頻電源前，先通過(guò)預(yù)熱爐

也可將固體和液體原料放在預(yù)熱爐中，氣化后與氣體原料相混合

可以從本公司選購(gòu)以下幾種真空泵

如您想獲得更高的真空度（<10-》tor orbeter）可選國(guó)產(chǎn)或進(jìn)口高真空機(jī)組配有擋板閥、波紋管和卡箍等真空配件

FS485接口和控溫軟件可安裝在爐體內(nèi)，將控溫程序和溫度曲線導(dǎo)入電腦中（儀器中不包含，客戶需額外出費(fèi)用 在本公司購(gòu)買(mǎi)）

為了獲得的升溫速率，可將爐體升溫到設(shè)定溫度，然后將爐體滑到樣品盛放位置

加熱速率

冷卻速率

15°C/sec (000-950℃C); 15°℃C/sec(RT-150°℃C)

10-C/sec(950℃.900℃C); 10℃C/sec(150℃-250°C); 7C/sec(250℃C.350℃C);

7C/sec(900℃C-850°℃); 4℃C/sec(850℃-750℃C); 4°℃C/see350℃-500°℃C);

23C/e750℃C-600°℃); 3℃C/ec350℃-550°℃C);

1.5℃C/sec (600℃C-500°℃); 2℃C/sec (550℃-650°℃);

1°C/sec (500°℃.400°℃); 1C/sec (650°C-800℃C);

0.5℃C/sec (400℃-300℃);

0.5℃C/sec (800°℃C-1000°C);

爐體∶550x380x 520 mm

滑軌長(zhǎng)度∶ 1750 mm