工作溫度1500℃連續(xù)使用溫度1400℃

個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)來控制，都可設(shè)置30段升降溫程序每個(gè)溫區(qū)長(zhǎng)度為200mm總溫區(qū)長(zhǎng)度為600mm爐管為高純剛玉管

爐管尺寸∶（標(biāo)配）60ODx53IDx1500mmL爐管尺寸∶（選配）800O.Dx73IDx1500mmL輸入電源∶ 208-240VAC，單相功率∶ 6.6KW

配有一對(duì)不銹鋼真空密封法蘭，法蘭上帶有石英觀察窗口

內(nèi)爐膛表面涂有美國進(jìn)口的1760度高溫氧化鋁涂層，可以提高設(shè)備加熱效率及反射率，同時(shí)延長(zhǎng)儀器的使用壽命。

輸出功率∶5-500W±1%

射頻頻率∶13.56 MHz ±0.005%.

反射功率∶ 200W

匹配∶自動(dòng)

射頻接口∶50 Ω，N-type

噪音∶<50 dB.

冷卻∶風(fēng)冷

電源∶AC 208-.240V;5060Hz

輸入電源 24V，1A DC（配有一電壓轉(zhuǎn)換器）

測(cè)量范圍 3.8x10-5 1125 Torr.

數(shù)據(jù)顯示 數(shù)字顯示（屏幕尺寸為20x14mm），其數(shù)據(jù)顯示單位為tor接頭 1/8"NPT 接頭

產(chǎn)品尺寸 46mm×28mm×126mm（長(zhǎng)*寬*高）

采用TRP-12的雙旋真空泵，極限真空10E.3 Torr

KFD25快接，不銹鋼波紋管，手動(dòng)擋板閥與法蘭，真空泵相連管內(nèi)真空可達(dá)10E-2 Torr

四個(gè)精密的質(zhì)量流量計(jì)（精度15%）∶數(shù)字顯示，自動(dòng)控制． MFC 1范圍∶0~100 cm MFC 2和3∶ 0~200 sccm MFC 4范圍∶0~500 scm一個(gè)混氣罐，底部裝有泄廢液口.

4個(gè)不銹鋼針閥安裝在供氣系統(tǒng)的左側(cè)，可手動(dòng)控制4種氣體進(jìn)氣口∶4個(gè)14NPS.出氣口∶4個(gè) 14NPs.

采用PLC控制流量計(jì)，通過觸摸屏進(jìn)行控制

三個(gè)溫區(qū)分別由三個(gè)溫控系統(tǒng)控制采用PID方式調(diào)節(jié)溫度，可設(shè)置30段升降溫程序帶有超溫和斷偶保護(hù)控溫精度∶ +/- 1 °℃控溫儀表操作視頻

可選;此款設(shè)備可以安裝控制模塊，將溫度設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入到電腦

爐體∶ 550x380x520 mm爐體下端移動(dòng)柜∶ 1800×600×600mm凈重∶ 220Lbs.運(yùn)輸重量∶ 1200lbs

CE認(rèn)證

所有電器元件（>24V）都通過UL /MET/CSA認(rèn)證

若客戶出認(rèn)證費(fèi)用，本公司保證單臺(tái)設(shè)備通過德國TUV認(rèn)證或CAS認(rèn)證