OTF-1200X-50S-PE-S 小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)
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- 公司名稱 南京淳寅嘉生物科技有限公司
- 品牌
- 型號 OTF-1200X-50S-PE-S
- 所在地 南京市
- 廠商性質 經銷商
- 更新時間 2021/3/30 8:59:39
- 訪問次數 446
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小型滑動PECVD管式爐系統(tǒng)是一款小型的PECVD(Plasma Enhanced ChemicalVapor Deposition)(等離子體化學氣相沉積)滑動式開啟式管式爐系統(tǒng)。此套設備?帶有300W的等離子射頻電源,—個爐管直徑為50mm的開啟式管式爐(帶有真空法蘭和連接管道)和機械泵組成。因此這套設備模型可以更新為不同的?PECVD 系統(tǒng)。對于有限的經費的情況下來進行材料探索;
特點 | 與普通CVD相比可以在低溫環(huán)境下進行氣相沉積實驗可以通過爐體滑動達到快速升溫和降溫 對于薄膜的應力可以通過射頻電源的頻率來進行控制通過工藝調節(jié)來控制化學計量 可以沉積各種材料,如SiOx.SiNx.SiOxNy和(a-SiH) 等 |
開啟式管式爐 | 輸入電源∶208-240V AC,功率;1.2kW 工作溫度頂值1200℃,小于60分鐘 爐膛保溫材料采用高純氧化鋁多晶纖維,并且內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層,可以提高加熱效率,反射率及延長儀器的使用壽命(點擊文字了解涂層的詳細參數) 連續(xù)工作溫度1100°C 爐管采用高純石英管∶50mmOD x 44mmID x 1000mm L 可設置30段升降溫程序,并且?guī)в羞^熱和斷偶保護功能 加熱區(qū)長度∶200mm 單溫區(qū) 恒溫區(qū)2.3"(60mm)(+-15℃)@ 1000℃ 注∶ 由于測量手段及外部環(huán)境的影響,測里結果可能會有偏差,此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區(qū)數據,請與我公司銷售人員 |
等離子體射頻電源 | 輸出功率:5 .300W 可調 穩(wěn)定性±1% 射頻電源頻率∶ 13.56 MHz 穩(wěn)定性±0.005% 反向功率頂值∶ 200W 匹配∶ 自動 射頻電源電子輸出端口∶ 50 Ω,N型半導體,陰極 噪音∶ <50 dB. 冷卻∶風冷 電源∶208-240VAC,50/60HZ |
真空法蘭和接頭 | 真空法蘭采用 304不銹鋼制作. 左端法蘭上安裝有 KF-25真空接口,2個KF-25快速卸裝卡箍,KF-25直角閥,KF-25真空波紋管和 1/4軟管接頭和不銹鋼針閥 |
真空泵及水冷機 | AC 220V 50 Hz 1/2HP 375W 2Liter /S 出氣端安裝有油霧過濾器(防止油霧擴散到空氣中,保護環(huán)境和人體健康) 真空度∶ 10-2 torr 可選水冷機 |
產品尺寸和重量 | 外形尺寸 1500mm x 600mm x 1200mm (長x寬x高) 凈重∶160kg |
質保期 | 年質保期,終身維護(相關耗材除外,如爐管,密封圈等易耗件) |
質量認證 | CE Certified |
使用注意事項: | 工作時需連接水冷設備 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 由干氣瓶內部氣壓較高,所以向爐管內通入氣體時,氣瓶上必須安裝減壓閥,建議在本公司選購減壓閥,本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加準確安全 當爐體溫度高于1000℃時,爐管內不可處于真空狀態(tài),爐管內的氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態(tài) 進入爐管的氣體流量需小于200sCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊石英管的長時間使用溫度< 1100℃ 對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發(fā)生(如爐管破裂,法蘭飛出等) |
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