單溫區(qū)單晶提拉生長爐? 設(shè)備參數(shù):
加熱系統(tǒng):
工作電壓:AC220V 單相
最大功率: 9KW
加熱區(qū)尺寸Φ200*250mm
工作溫度: 1700°C(<1hr)
連續(xù)工作溫度: 1600°C
控溫方式采用宇電高精度版本控溫控儀表,PID方式調(diào)節(jié)溫度,可程序控溫,用戶需要探索所長晶體最合適的溫度梯度
在上部爐膛處開有一個(gè)Φ25mm的斜觀察孔,用于在晶體生長過程中對(duì)籽晶和晶體液面進(jìn)行觀察。
溫控系統(tǒng): 采用1塊宇電高精度儀表,控溫精度可達(dá)±0.1℃
• 0.05 級(jí)精度的控制器,帶 150 段程序段,人工智能技術(shù)調(diào)節(jié)
• 配置1根B型熱電偶作為溫度檢測(cè)及反饋信號(hào)傳感器
籽晶桿固定件和坩堝
• 設(shè)備固定裝置預(yù)留好連接桿的固定裝置,可用于連接鉑金絲或者水冷提拉桿(鉑金絲選配)
• 標(biāo)配有1套水冷提拉桿,用于連接客戶生長晶體所用的籽晶桿;
• 可選配Φ80*80mm的銥金坩堝;
其他選配功能(選配)
上部提拉密封系統(tǒng),采用真空波紋管密封,可以實(shí)現(xiàn)在真空密封環(huán)境下進(jìn)行提拉法生長晶體;
下部稱重系統(tǒng),采用下稱重方式,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)生長晶體的自動(dòng)精確控制。
伺服電機(jī)控制系統(tǒng):
(提拉速度更為均勻穩(wěn)定,改善單晶生長質(zhì)量)
• 提拉速度:0.03-12mm/h
• 提拉桿轉(zhuǎn)速:0.03-50r/min
• 可手動(dòng)控制實(shí)現(xiàn)快速升降
• 提拉行程:400mm
單溫區(qū)單晶提拉生長爐外形尺寸 600mm(L) x 655mm(W) x 1400mm(H)