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wi97971 3靶等離子濺射儀

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產(chǎn)品名稱: 3靶等離子濺射儀
產(chǎn)品貨號: wi97971
產(chǎn) 地: 國產(chǎn)

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產(chǎn)品簡介 3靶等離子濺射儀是一款緊湊型的等離子薄膜濺射儀,控制面板采用觸摸屏模式,基片zui大尺寸2″,放置樣品的直徑為Φ50mm,加熱溫度達(dá)500℃。本機(jī)可濺射金、鋁、銅三種靶材,并采用旋轉(zhuǎn)式樣品臺,能夠依次在同一樣品上涂覆三層薄膜。 主要特點(diǎn) 1、PLC控制面板,PID控溫方式。 2、可控參數(shù)包括真空度、電流、靶材位置、基片、加熱溫度。 3、已通過CE認(rèn)證。 技術(shù)參數(shù) 1、輸入功率:110V/220V通用 1200W(含真空泵) 2、輸出功率:1600VDC 50mA(zui大電流) 3、石英罩:Φ160mm×1200mm 4、樣品臺:Φ50mm 5、加熱溫度:500℃, 6、控溫精度:±1℃ 7、靶材尺寸:Φ47mm×0.12mm 產(chǎn)品規(guī)格 尺寸:360mm×350mm×3600mm;重量:50kg 標(biāo)準(zhǔn)配件 金、銀、銅靶材各1塊 可選配件 1、KF25真空接口、卡箍 2、不銹鋼波紋管(600mm) 3、旋片式真空泵(120L/M) 4、鉑、銀、鋅等靶材


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