| 參考價 | 面議 |
108鍍金鍍碳聯(lián)用儀特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜，同時又用于掃描電鏡能譜分析。 分類： 電鏡制樣設(shè)備, 鍍膜儀 標簽： 離子濺射儀, 鍍碳儀, 鍍膜儀 Brand:Ted Pella
描述
特別適用于掃描電鏡成像中非導(dǎo)電樣品高質(zhì)量鍍膜，同時又用于掃描電鏡能譜分析。
一、主要特性
二、技術(shù)參數(shù)
| 鍍金系統(tǒng) | |
| 樣品室大小 | 直徑120mm x 120mm 高 |
| 靶材 | Au靶為標配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （選件）;直徑57mm x 0.1mm厚 |
| 樣品臺 | 可以裝載12個SEM樣品座，高度可調(diào)范圍為60mm 可選配旋轉(zhuǎn)傾斜樣品臺，旋轉(zhuǎn)速度：0~120rpm可調(diào)，傾斜角度：0~90°可調(diào)。旋轉(zhuǎn)樣品臺具有單獨腔體保護，可防污染。 |
| 濺射控制 | 微處理器控制，安全互鎖，可調(diào)，電流50mA，程序化數(shù)字控制 |
| 濺射頭 | 低電壓平面磁控管，靶材更換快速，環(huán)繞暗區(qū)護罩 |
| 模擬計量 | 真空： Atm – 0.001mbar 電流：0—50mA |
| 厚度監(jiān)控 (選件) | 使用高分辨厚度監(jiān)控儀（選件）終止濺射過程 |
| 控制方法 | 帶有“暫?！笨刂频臄?shù)字定時器（0－300s） |
| 桌上系統(tǒng) | 真空泵可置于抗震臺上，全金屬集成耦合系統(tǒng) |
| 鍍碳系統(tǒng) | |
| 樣品室大小 | 直徑120 x 120mm 高 |
| 蒸發(fā)源 | Bradley型 (6.15mm rods, [1/4″]) 高強度不銹鋼結(jié)構(gòu) |
| 蒸發(fā)控制 | 基于微處理器的反饋回路控制，能夠進行遠程電流/電壓感應(yīng)，基于真空水平變量的安全互鎖功能，電流180A，提供過流保護 |
| 樣品臺 | 可裝置12個樣品座，高度在30mm范圍內(nèi)可調(diào) |
| 模擬計量 | 真空: atmos – 0.001mb; 電流: 0-200A |
| 控制方法 | 自動蒸發(fā)控制，使用程序設(shè)定的電壓和時間 以脈沖或連續(xù)方式進行*手動控制 數(shù)字定時器（0－9.9s） 數(shù)字電壓設(shè)置（0.1 to 6.0V） |
| 真空系統(tǒng) | |
| 真空泵 | 2級直連式高速真空泵 |
| 抽氣速率 | 133L/MIN |
| 噪音 | 56dB |
| 極限真空 | ≤1 x 10-3 Torr |
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