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- 公司名稱 伯東貿(mào)易(深圳)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 所在地 深圳市
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2022/7/27 11:12:11
- 訪問次數(shù) 184
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上海伯東代理美國(guó) 進(jìn)口 KRI 考夫曼離子源 KDC 75:緊湊柵極離子源,離子束直徑 14 cm ,可安裝在 8“CF法蘭. 適用于中小型腔內(nèi), 考夫曼離子源 KDC 75 包含2個(gè)陰極燈絲, 其中一個(gè)作為備用,KDC 75 提供緊密聚焦的電子束特別適合濺射鍍膜. 標(biāo)準(zhǔn)配置下離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 250 mA.
KRI 考夫曼離子源 KDC 75
上海伯東代理美國(guó) 進(jìn)口 KRI 考夫曼離子源 KDC 75:緊湊柵極離子源,離子束直徑 14 cm ,可安裝在 8“CF法蘭. 適用于中小型腔內(nèi), 考夫曼離子源 KDC 75 包含2個(gè)陰極燈絲, 其中一個(gè)作為備用,KDC 75 提供緊密聚焦的電子束特別適合濺射鍍膜. 標(biāo)準(zhǔn)配置下離子能量范圍 100 至 1200ev, 離子電流可以超過 250 mA.
KRI 考夫曼離子源 KDC 75 技術(shù)參數(shù)
型號(hào)
KDC 75 / KDC 75L(低電流輸出)
供電
DC magnetic confinement
- 陰極燈絲
2
- 陽極電壓
0-100V DC
電子束
OptiBeam™
- 柵極
專用, 自對(duì)準(zhǔn)
-柵極直徑
7.5 cm
中和器
燈絲
電源控制
KSC 1212 或 KSC 1202
配置
-
- 陰極中和器
Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000
- 安裝
移動(dòng)或快速法蘭
- 高度
7.9'
- 直徑
5.5'
- 離子束
聚焦
平行
散設(shè)
-加工材料
金屬
電介質(zhì)
半導(dǎo)體
-工藝氣體
惰性
活性
混合
-安裝距離
6-24”
- 自動(dòng)控制
控制4種氣體
* 可選: 一個(gè)陰極燈絲; 可調(diào)角度的支架
KRI 考夫曼離子源 KDC 75 應(yīng)用領(lǐng)域
濺鍍和蒸發(fā)鍍膜 PC
輔助鍍膜(光學(xué)鍍膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
離子濺射沉積和多層結(jié)構(gòu) IBSD
離子蝕刻 IBE
客戶案例: 超高真空離子刻蝕機(jī) IBE, 真空度 5E-10 torr, 系統(tǒng)配置
美國(guó) KRI 考夫曼離子源 KDC 75
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上海伯東 : 羅先生 中國(guó)臺(tái)灣伯東 : 王小姐
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 e
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