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HVA 矩形閥 88200 系列伯東代理

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上海伯東美國 HVA 矩形閥門 28200&88200系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的接口閥,可靠使用壽命超過1百萬次。HVA閘板閥專用于真空相關(guān)系統(tǒng),起隔絕真空壓力的作用。

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HVA 矩形閥 88200 系列

HVA 矩形閥 88200 系列

上海伯東美國 HVA 矩形閥門 28200&88200系列矩形板閥是采用了直連驅(qū)動(dòng)技術(shù)的接口閥,可靠使用壽命超過1百萬次。HVA閘板閥專用于真空相關(guān)系統(tǒng),起隔絕真空壓力的作用。HVA真空閘板閥外形尺寸小,設(shè)計(jì)緊湊,可靠應(yīng)用于生產(chǎn)線與過渡腔室(load-lock chamber),過渡腔室(load-lock chamber)與傳輸系統(tǒng)(handling system),傳輸系統(tǒng)(handling system)與工藝腔室(process chamber)等等,需要分隔真空壓力的地方。


28200&88200系列矩形真空板閥產(chǎn)品特點(diǎn)

1. 超百萬次可靠運(yùn)行壽命
2. 不產(chǎn)生粉末,顆粒,防塵設(shè)計(jì)
3. 閥動(dòng)作平穩(wěn),振動(dòng)和沖擊小
4. 標(biāo)準(zhǔn)接口,或按客戶要求定制
5. 閥體材料經(jīng)過1E-6Torr,1100℃真空銅焊處理
6. 適用于1E-9Torr,200℃條件下

28200&88200系列矩形真空板閥技術(shù)參數(shù)

連接形式:

標(biāo)準(zhǔn)或定制法蘭

主體材料:

304 不銹鋼/ AM-350

公稱通徑:

DN32*222 mm-DN50*336

DN32*222 mm-DN100*1250

漏率:

2x10E-9 AtmCC/Sec

壓力范圍:

1x10E-9 Torr

烘烤溫度:

《150℃

適用介質(zhì):

水、蒸汽、空氣

密封形式:

軟密封型

驅(qū)動(dòng)方式:

氣動(dòng)

使用壽命:

1000000 啟閉次數(shù)


28200&88200系列矩形真空板閥訂貨號(hào)及2D & 3D 圖

DN

Model

 

 

mm

inch

Number

J (Bolted Body)

K (Clamped Body)

32 x 220

1.26 x 8.74

28212-0109RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

32 x 332

1.26 x 13.07

28212-0113RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

46 x 236

1.81 x 9.29

28212-0209RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote

50 x 336

1.97 x 13.23

28212-0213RX_

2D

3D

Quote

2D

3D

Quote


28200&88200系列矩形真空板閥部件圖


若您需要進(jìn)一步的了解詳細(xì)產(chǎn)品信息或討論 , 請(qǐng)參考以下聯(lián)絡(luò)方式 :

上海伯東 : 羅先生                               中國臺(tái)灣伯東 : 王小姐

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