本頁內(nèi)容：行業(yè)挑戰(zhàn) • 摘要 • 特性和優(yōu)勢 • 元器件 • 主要技術(shù)指標(biāo) • 相關(guān)是德產(chǎn)品

B2201A 可自動(dòng)執(zhí)行表征測試，從而降低測試成本，對半導(dǎo)體參數(shù)分析儀的測量性能只有輕微影響。它支持 4 SMU * Kelvin 配置和電容表，并可在未來進(jìn)行擴(kuò)展。此外，它還具有 14 路輸入，每路輸入都使用的內(nèi)部測量路徑，其中兩路輸入還具有特殊的電容測量補(bǔ)償特性。它還支持脈沖發(fā)生器等儀器。用戶可使用鍵盤或可選光筆通過前面板進(jìn)行操控。

行業(yè)挑戰(zhàn)

對半導(dǎo)體晶圓上的眾多測試結(jié)構(gòu)進(jìn)行所有必要的參數(shù)測量，可能需要耗費(fèi)大量時(shí)間和成本。隨著最終用戶設(shè)備的成本持續(xù)下降，甚至實(shí)驗(yàn)室表征環(huán)境也必須降低測試成本。使用包含半自動(dòng)或全自動(dòng)晶圓探頭的開關(guān)矩陣，可以自動(dòng)執(zhí)行表征測試，在每次測試新模塊時(shí)也無需操作人員手動(dòng)復(fù)位探頭。這樣既縮短測試時(shí)間，又節(jié)省測試成本。

許多現(xiàn)有的開關(guān)矩陣都有內(nèi)在的局限性。例如，許多開關(guān)矩陣會(huì)降低半導(dǎo)體參數(shù)分析儀的低電流測量性能，成為測量鏈中弱的環(huán)節(jié)。如果內(nèi)部路徑數(shù)量不足，那么開關(guān)矩陣就無法支持 4 終端* Kelvin 測量和電容表，而且每次將測量從 IV 變成 CV 時(shí)都需要花很長時(shí)間手動(dòng)改變電纜連接。最后，如果開關(guān)矩陣不能對電容測量結(jié)果進(jìn)行補(bǔ)償，以消除因路徑長度而產(chǎn)生的測量失真，那么這些測量結(jié)果也將會(huì)是不準(zhǔn)確的。

摘要

出色的開關(guān)矩陣性能，適中的價(jià)格

B2201A 14 通道低泄漏開關(guān)主機(jī)提供出色的低電流泄漏和電容測量性能，沒有其他替代解決方案所具有的限制。能夠支持 10 fA 測量，意味著它不會(huì)嚴(yán)重降低半導(dǎo)體參數(shù)分析儀的高性能。它的價(jià)格適中，可以為要求不是特別苛刻的測量環(huán)境提供經(jīng)濟(jì)高效的測量性能。輸入數(shù)量足夠多，則可以支持4-SMU * Kelvin 配置。所有 14 路輸入對應(yīng)的內(nèi)部路徑，因此可以同時(shí)使用。與其他同類解決方案不同，它可以避免每個(gè)通道的路徑長度不同所產(chǎn)生的固有誤差，確保電容測量結(jié)果不會(huì)出現(xiàn)失真；此外，系統(tǒng)提供了必要的參數(shù)和算法來補(bǔ)償這些差異。它的模塊化結(jié)構(gòu)支持 12、24、36 或 48 路輸出配置，使用起來具有極大的靈活性。30 MHz 帶寬使它可以使用脈沖發(fā)生器等儀器。附加的 LED 顯示屏和使用鍵盤或可選光筆進(jìn)行操控的前面板，使操作人員可以非常靈活地進(jìn)行操作。

• 緊跟半導(dǎo)體參數(shù)分析儀性能的步伐
  的半導(dǎo)體參數(shù)分析儀已經(jīng)達(dá)到新的性能水平。B2201A 開關(guān)矩陣能夠支持 10 fA 測量分辨率，緊跟半導(dǎo)體參數(shù)分析儀性能的步伐，而不會(huì)嚴(yán)重降低測量性能。
• 避免多路復(fù)用的測量限制
  避免花費(fèi)很長時(shí)間手動(dòng)切換 B2201A 的 14 條內(nèi)部測量路徑，因而延誤測量進(jìn)度。每路輸入都有自己的內(nèi)部路徑，可以同時(shí)工作，避免因?yàn)樵诠蚕砺窂缴隙嗦窂?fù)用輸入所帶來的限制。
• 準(zhǔn)確的電容測量
  特別是在測量電容時(shí)，電纜長度（包括矩陣中的路徑）對測量結(jié)果有很大影響。通過使用針對電容測量優(yōu)化過的兩路 BNC 輸入，B2201A 開關(guān)矩陣主機(jī)――與同類解決方案不同――可以校正因?yàn)榫仃噧?nèi)部路徑長度而產(chǎn)生的誤差，提供補(bǔ)償參數(shù)以確保測量結(jié)果不失真。

特性和優(yōu)勢

元器件

• B2201A 14 通道低泄漏開關(guān)主機(jī)
• B2211A 14 通道低泄漏開關(guān)模塊

主要技術(shù)指標(biāo)