捷歐路JEOL JEBG系列 大功率電子槍/電源爐是用來在真空中蒸發(fā)或熔解金屬及氧化物的大功率電子束發(fā)生源，能在寬幅塑料及大面積玻璃基板上持續(xù)、高速率地鍍膜，還可應(yīng)用于電子束熔煉，用于高熔點(diǎn)金屬鑄錠的制備及精煉。電子束能大范圍地快速掃描，通過專用的控制裝置和軟件，能生成各種電子束照射圖形和區(qū)域。由于能夠在各個(gè)照射位置上設(shè)定掃描、停留時(shí)間、輸出功率及電子束形狀，因而能夠控制熔融面和膜厚分布。

捷歐路JEOL JEBG系列 大功率電子槍/電源爐用途：真空蒸鍍。阻隔膜、保護(hù)膜、電極膜、導(dǎo)電膜、磁性膜等薄膜的形成。真空熔解，Ti、Ta、Nb、 Mo等高熔點(diǎn)金屬鑄錠的制備及精煉。提煉太陽(yáng)能電池的多晶硅。

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