VFT光纖過真空裝置可以將光導(dǎo)入或?qū)С稣婵帐遥詫?shí)現(xiàn)超高真空的應(yīng)用場(chǎng)合,例如半導(dǎo)體處理的光學(xué)監(jiān)測(cè)和薄膜吸附的*終檢測(cè)。采用VFT光纖過真空裝置可以檢測(cè)真空環(huán)境下,樣品的透射/吸收,以及熒光反射等光學(xué)反應(yīng)! 真空光纖饋通法蘭真空室導(dǎo)光半導(dǎo)體應(yīng)用
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在隔空箱和高壓應(yīng)用場(chǎng)合下有較好的表現(xiàn),真空度高達(dá)*大10 -7 mbar ,操作溫度高達(dá)300℃,真空室壁厚5-40mm,玻璃或金屬封口光纖使性能表現(xiàn)提高,VFT光纖過真空裝置使用牢固的金屬-玻璃封口膠,使VFT在超高真空應(yīng)用場(chǎng)合的表現(xiàn)得到提高。
VFT光纖過真空裝置除了在半導(dǎo)體和薄膜處理方面的應(yīng)用,還是環(huán)境檢測(cè)、藥*學(xué)處理和光學(xué)涂層生產(chǎn)的理想工具。它還可以應(yīng)用在分子束外延和化學(xué)物理的蒸汽吸附方面,可以作為配合隔空箱、手套箱和中壓裝置的性能優(yōu)異的通管。 真空光纖饋通法蘭真空室導(dǎo)光半導(dǎo)體應(yīng)用
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VFT光纖過真空裝置的光纖直徑有50μm、100μm、200μm、400μm、600μm和1000 μm可選;波長可選UV200~1100nm和IR400~2500nm,可選配SMA905或者FC接頭。
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