HIDEN HMT 100－RC 高壓殘余氣體分析儀-四極質(zhì)譜儀（High Pressure Residual Gas Analyser），*的雙重模式RGA系統(tǒng)，檢測已存在的、或生產(chǎn)過程中形成的氣體。針對真空診斷以及過程監(jiān)測。

HMN-RC高壓殘余氣體分析儀應(yīng)用：

· 殘余氣體或泄漏檢測
· 實質(zhì)上的泄漏或脫附分析
· 除氣研究
· 烘烤周期
· 泵效能
· 腔室/過程氣體污染物

HMN-RC高壓殘余氣體分析儀特點：

· HMT型適用于高壓4x10-3 Torr操作（z小壓力4x10-8 Torr）
· 在P < 10-4 Torr時具有高靈敏度的RGA操作模式，z小壓力1x10-11 Torr
· z大質(zhì)量數(shù)100amu，軟件操作。
· 穩(wěn)定性好(24h之上，高度變化小于±1% )
· MASsoft軟件控制，或由局域網(wǎng)進(jìn)行多個系統(tǒng)控制
· 快速顯示柱狀圖、趨勢分析和信號峰
· 混合模式掃描－多個windows窗口顯示信息，例如趨勢、柱狀圖和信號峰
· 同步顯示數(shù)據(jù)圖，列表
· 同步背景扣除，自動質(zhì)量數(shù)列表
· 數(shù)據(jù)輸出為ASCII格式，至windows設(shè)備
· 即時動態(tài)數(shù)據(jù)交換至其他DDE兼容的windows軟件，例如Excel、SPC-IV統(tǒng)計過程控制軟件。