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GC-9560-HG 四氟化碳分析氦離子色譜儀

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GC-9560-HG四氟化碳分析氦離子色譜儀適用于高純四氟化碳中痕量雜質(zhì)的檢測(cè),檢測(cè)濃度可達(dá)5ppb。儀器配備高靈敏的氦離子化檢測(cè)器,采用華愛公司的中心切割技術(shù),進(jìn)樣閥均帶有吹掃保護(hù)氣路;整機(jī)采用多柱箱設(shè)計(jì),并配備進(jìn)樣壓力自動(dòng)校正系統(tǒng),保證不同底氣的樣品的進(jìn)樣量。

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    GC-9560-HG四氟化碳分析氦離子色譜儀適用于高純四氟化碳中H2、O2(Ar)、N2、CH4、CO、CO2SF6、C2F6、C3F8等痕量雜質(zhì)的檢測(cè),儀器配備高靈敏度的氦離子化(PDHID)檢測(cè)器,采用中心切割與反吹技術(shù),配置具有吹掃保護(hù)氣路的進(jìn)樣切換閥和進(jìn)口氦氣純化器,通過無死體積取樣或在線進(jìn)樣方式,一次性完成高純氨中雜質(zhì)的檢測(cè),檢測(cè)限達(dá)ppb級(jí),重復(fù)性RSD≤1%。
      由華愛色譜承擔(dān)主要起草任務(wù)的國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)GB/T 28726-2012《氣體分析 氦離子化氣相色譜法》已經(jīng)于2013年02月01日起正式公布實(shí)施。

一、適用標(biāo)準(zhǔn):

  • GB/T ××××-××××《電子工業(yè)用氣體 四氟化碳》(報(bào)批稿)
  • GB/T 28726-2012《氣體分析 氦離子化氣相色譜法》

二、技術(shù)參數(shù):

1、檢測(cè)限(ppb):

一般雜質(zhì)

雜貨種類

H2

O2Ar

N2

CH4

CO

CO2

測(cè)

5

10

10

5

25

5

2、溫控指標(biāo):

  •  柱    箱:室溫上8℃-400℃   精度±0.1℃
  •  進(jìn) 樣 器:室溫上8℃-400℃   精度±0.1℃
  •  檢 測(cè) 器:室溫上8℃-400℃   精度±0.1℃
  •  溫控?cái)?shù)量:八路
  •  程序升溫:八階
  •  升溫速率:1℃~40℃
  •  降溫速度:7分鐘以內(nèi)(350℃到50℃)

3、氦離子化檢測(cè)器(PDD):

  •  放電模式:脈沖放電
  •  基線噪聲:≤0.1mv
  •  基線漂移:≤0.5mv/30min
  •  檢測(cè)限:≤1.0×10-10g/ml

4、載氣純化器:

  •  可純化氣體:He、Ar、Ne、Kr、Xe、Rn
  •  操作壓力:1000Psi
  •  去除氣體:H2、O2、N2、CO、CO2、CH4、H2O、NO、NH3、CF4等
  •  殘留濃度:≤10ppb

5、工作站性能:

  •  通訊接口:RS232/USB接口        
  •  高精度:24位的高精度A/D
  •  分辨率:±1uv            
  •  輸入電平范圍:-5mv至+1v
  •  采樣頻率:zui高20次/秒   
  •  動(dòng)態(tài)范圍:106
  •  積分靈敏度:1μv•sec   
  •  線性度:<±0.1%。
  •  重現(xiàn)性:0.06%。

6、其他參數(shù):尺寸、重量、電源:

  •  尺寸:寬655mm×高500mm×深480mm
  •  重量:~48kg
  •  電源:220V±22V,50Hz,功率≥2kW

三、系統(tǒng)配置:

(1)GC-9560-HG四氟化碳分析氦離子色譜儀 (2)氦離子化檢測(cè)器(PDHID)
(3)中心切割系統(tǒng)                                               (4)多柱箱系統(tǒng)
(5)氦氣純化器                                                   (6)標(biāo)準(zhǔn)氣體
(7)色譜柱                                                           (9)氧吸附與還原系統(tǒng)
(10)載氣減壓閥                                        (11)無死體積取樣閥
(12)GC-9560V4.0版反控色譜工作站

四、分析譜圖:

1、四氟化碳分析譜圖:

上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司

|

手機(jī):15857110087

聯(lián)系人:市場(chǎng)部

電話:0571-81061096

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