KLA InSEM 系列可以和各個(gè)SEM和FIB廠商的主流型號聯(lián)合工作，包括FEI、Jeol、Tescan、Zeiss 等等。

KLA 公司全系列的力學(xué)測試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動(dòng)原理的加載力激發(fā)器。對納米壓痕物理模型和線性特性的電磁力驅(qū)動(dòng)原理的深刻理解，以及高靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計(jì)，保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個(gè)量程范圍內(nèi)均能得到高精準(zhǔn)、高分辨的控制。KLA InSEM 系列：*的激發(fā)器的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，*實(shí)現(xiàn)載荷和位移的分別控制和探測，實(shí)現(xiàn)納米壓痕檢測，包括動(dòng)態(tài)力學(xué)測試、軟材料測試、及薄膜測試等等。

InForce50 載荷激發(fā)器 載荷激發(fā)器

• 加載載荷： 50mN

• 縱向載荷分辨率： 3nN

• 壓頭移動(dòng)范圍：45um

• 位移噪音背景:<0.01nm

• 位移數(shù)字分辨率：<0.002nm

InForce1000 載荷激發(fā)器 載荷激發(fā)器

• 加載載荷： 1000mN

• 縱向載荷分辨率： 6nN

• 壓頭移動(dòng)范圍：80um

• 噪音背景:<0.1nm

• 位移數(shù)字分辨率：<0.004nm

NanoFlip 的樣品臺(tái)處于“Up”狀態(tài)時(shí)，SEM/FIB 可以方便的觀察樣品和進(jìn)行微區(qū)定位，當(dāng)

樣品臺(tái)處于“Down”狀態(tài)時(shí)，SEM/FIB 又可以對整個(gè)力學(xué)實(shí)驗(yàn)過程進(jìn)行實(shí)時(shí)觀察并進(jìn)行實(shí)

時(shí)的視頻捕捉