KLA公司全系列的力學(xué)測試產(chǎn)品均采用電磁驅(qū)動(dòng)原理的加載力激發(fā)器， iMicro微納米壓痕儀。對納米壓痕物理模型和優(yōu)線性特性的電磁力驅(qū)動(dòng)原理的深刻理解，以及具有良好靈敏度的三片式電容傳感器的設(shè)計(jì)，保證全系列納米力學(xué)產(chǎn)品在整個(gè)量程范圍內(nèi)均能得到高分辨的控制。1000mN載荷范圍，6nN加載精度，0.04nm位移精度。
? 快速準(zhǔn)確的動(dòng)態(tài)納米壓痕測試
? 電磁加載方式
? 快速準(zhǔn)確的位移測量

•IMicro包括InView軟件，它提供非常強(qiáng)大和直觀的實(shí)驗(yàn)?zāi)_本平臺(tái)，可以用于設(shè)計(jì)新穎的實(shí)驗(yàn)。有經(jīng)驗(yàn)的用戶可以使用IMicro進(jìn)行幾乎所有小規(guī)模的機(jī)械測試。

•樣品臺(tái)移動(dòng)Z軸為25 mm，X為100 mm，Y軸為150 mm，可測試各種樣品高度和大樣品區(qū)。

•載荷剛度>3,500,000N/m

•特的TiP-calibration系統(tǒng)集成到軟件中，可以快速、準(zhǔn)確、自動(dòng)的進(jìn)行校準(zhǔn)?？蛇x擇NanoBlitz地形和斷層掃描軟件來執(zhí)行

•更高的負(fù)載和更廣泛的應(yīng)用使IMicro成為世界上研究實(shí)驗(yàn)室的選擇

•允許進(jìn)行廣泛的測試，包括但不限于特定頻率的實(shí)驗(yàn)、存儲(chǔ)和損失模量、模量和硬度（Oliver和Pharr）和恒定應(yīng)變率。

•多功能執(zhí)行機(jī)構(gòu)可用于測試任何材料，從超軟凝膠到硬涂層。

•可用的劃痕選項(xiàng)，大負(fù)載為50mN，大劃痕偏差為2.5mm，大劃痕速度為500um/s。