智能型高精度三氟化氮?dú)怏w傳感器模組，先將國外的氣體傳感器進(jìn)行信號(hào)放大、數(shù)據(jù)處理、智能計(jì)算后，再進(jìn)行全量程三點(diǎn)溫濕度補(bǔ)償。然后再用高精確度的標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)行數(shù)據(jù)校準(zhǔn)。因此，體積更小、價(jià)格更低、性能更加優(yōu)良穩(wěn)定；客戶購買后，無需任何操作，無需再次標(biāo)定，可直接采集處理后的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)RS485、0-5V之間任意電壓和TTL數(shù)字信號(hào)，上傳到PLC、DCS、DDC、數(shù)據(jù)采集儀等上位機(jī)系統(tǒng)；

中文名稱:三氟化氮 英文名稱:Nitrogen trifluoride 中文別名:氟化氮;英文別名:232-007-1; trifluoroamine CAS號(hào):7783-54-2 分子式:F3N 分子量:71.0019

物性數(shù)據(jù)

1. 性狀：無色、帶霉味的氣體。

2. 2.熔點(diǎn)（oC）：-208.5

3.沸點(diǎn)（oC）：-129

4.相對(duì)密度（水=1）：1.89（沸點(diǎn)，液體）

5.相對(duì)蒸氣密度（空氣=1）：2.45

6.臨界溫度（oC）：-39.3

7.臨界壓力（MPa）：4.53

8.溶解性：不溶于水。

存儲(chǔ)方法

1.在70℃以下NF3氣體對(duì)普通金屬是不腐蝕的，因此鋼、銅、鎳、鋁和不銹鋼在70℃以下均可用作包裝材料。用鋼瓶和鋁合金瓶充裝，對(duì)氣瓶每兩年要檢驗(yàn)一次。按有毒高壓液化氣體規(guī)定運(yùn)輸，國外規(guī)定可以用汽車、火車運(yùn)輸，不能用飛機(jī)運(yùn)輸。氣瓶充裝系數(shù)不大于0.01。

2.儲(chǔ)存注意事項(xiàng)[16] 儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的有毒氣體專用庫房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫溫不宜超過30℃。應(yīng)與易（可）燃物、還原劑、食用化學(xué)品分開存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。

合成方法

在熔融氟銨酸存在下，采用氨直接氟化工藝，其反應(yīng)式為：

反應(yīng)產(chǎn)物經(jīng)過除霧器、淋洗器、分子篩吸附器，以及真空蒸餾，可分別除去各種雜質(zhì)，最后用低溫法收集得到NF3。

主要用途

1. NF3是微電子工業(yè)中一種優(yōu)良的等離子蝕刻氣體，對(duì)硅和氮化硅的蝕刻，采用NF3和CF4＋O2的混合氣體有更高的蝕刻速率和選擇性，而且對(duì)表面無污染。氫與NF3反應(yīng)，在瞬間伴隨放出大量的熱，這就是NF3在高能化學(xué)激光器方面大量應(yīng)用的原理。在高溫下，NF3與有機(jī)化合物反應(yīng)常伴有爆炸性，操作時(shí)應(yīng)十分謹(jǐn)慎。2.用作高能燃料。

   
   

2. 

一、智能型高精度三氟化氮?dú)怏w傳感器模組產(chǎn)品簡介

深國安電子自主研發(fā)生產(chǎn)的一款標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化、智能化氣體檢測產(chǎn)品；主要為解決氣體檢測種類繁多、各品牌氣體傳感器互不兼容、生產(chǎn)標(biāo)定復(fù)雜、核心元器件更換受限等問題；采用我司生產(chǎn)的SGA-400/700系列智能型氣體傳感器后，只需前期對(duì)接一次，即可快速響應(yīng)客戶對(duì)不同氣體的檢測需求；擴(kuò)散式和泵吸式兩個(gè)采樣方式可選，方便系統(tǒng)集成；模擬電壓和數(shù)字信號(hào)雙輸出，客戶直接供電即可采集數(shù)據(jù)。即買即用，無需二次開發(fā)或標(biāo)氣調(diào)校?？纱蠓冉档推髽I(yè)的研發(fā)和時(shí)間成本，并快速將檢測精度和穩(wěn)定性提升到水準(zhǔn)。

SGA-400/700系列智能型高精度三氟化氮?dú)怏w傳感器模組100%采用國外芯片，確保產(chǎn)品的精度和穩(wěn)定性；具體生產(chǎn)工藝為：先將國外的氣體傳感器進(jìn)行信號(hào)放大、數(shù)據(jù)處理、智能計(jì)算后，再進(jìn)行全量程三點(diǎn)溫濕度補(bǔ)償。然后再用高精確度的標(biāo)準(zhǔn)氣體進(jìn)行數(shù)據(jù)校準(zhǔn)。因此，體積更小、價(jià)格更低、性能更加優(yōu)良穩(wěn)定；客戶購買后，無需任何操作，無需再次標(biāo)定，可直接采集處理后的標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)RS485、0-5V之間任意電壓和TTL數(shù)字信號(hào)，上傳到PLC、DCS、DDC、數(shù)據(jù)采集儀等上位機(jī)系統(tǒng)；方便快捷、節(jié)約成本；產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于科研實(shí)驗(yàn)室、數(shù)據(jù)采集、氣體監(jiān)測、過程化控制、物聯(lián)網(wǎng)、無人機(jī)、工業(yè)機(jī)器人、網(wǎng)格化大氣環(huán)境監(jiān)測儀、微型空氣質(zhì)量監(jiān)測站、惡臭在線監(jiān)測、有毒氣體檢測等領(lǐng)域。

SGA-400系列目前是市面上最小的智能型氣體傳感器，體積小，重量小，非常適合無人機(jī)、工業(yè)機(jī)器人等空間受限的客戶使用。SGA-700系列內(nèi)置四電*精度氣體傳感器，非常適合空氣質(zhì)量、園區(qū)廠界、網(wǎng)格化環(huán)境監(jiān)測等場所使用。

二、產(chǎn)品特點(diǎn)

● 體積小、重量輕、功能強(qiáng)大；

● 已標(biāo)定，無需二次開發(fā)，即買即用；

● 產(chǎn)品一次對(duì)接，即可對(duì)應(yīng)1000多種氣體檢測，一勞永逸；

● 產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)化、模塊化，任何氣體都可以做成尺寸結(jié)構(gòu)統(tǒng)一、信號(hào)輸出統(tǒng)一、使用方法統(tǒng)一；

● 本質(zhì)安全型電路設(shè)計(jì)，帶國家防爆證；

● 兼容紅外、電化學(xué)、催化、半導(dǎo)體、PID等不同技術(shù)原理傳感器，功能強(qiáng)大；

● 自帶溫濕度補(bǔ)償和數(shù)據(jù)校準(zhǔn)功能，方便客戶對(duì)接，維護(hù)方便；

● 內(nèi)置世界頂級(jí)品牌氣體傳感器，反應(yīng)靈敏，測量精準(zhǔn)，壽命長久；

● 多種信號(hào)輸出，方便客戶使用；

● 定制鍍金插座，拔插容易，固定牢靠；

● 氣體流體工程學(xué)設(shè)計(jì)，進(jìn)氣流暢；

● 自然擴(kuò)散式和主動(dòng)吸入式兩種采樣方式可選；

● 免費(fèi)提供測試軟件和通訊協(xié)議，方便產(chǎn)品調(diào)試和系統(tǒng)對(duì)接；

● 免費(fèi)開放內(nèi)部數(shù)據(jù)和指令，方便客戶做二次修正或參數(shù)更改；

● 可選配多組信號(hào)轉(zhuǎn)換板，將多個(gè)模組信號(hào)統(tǒng)一輸出為RS485、RS232和USB數(shù)據(jù)接口；

● 0.4-2V輸出的產(chǎn)品，可以協(xié)助客戶做產(chǎn)品故障診斷；

●每十家環(huán)境監(jiān)測客戶中，就有5家在選購深國安的產(chǎn)品；