TESCAN VEGA 鎢燈絲掃描電鏡，采用全新的 Essence™ 電鏡操控軟件系統(tǒng)，將掃描形貌圖像與元素實(shí)時(shí)分析集成于同一個(gè)掃描窗口中。這種組合大大簡(jiǎn)化了樣品表面形貌的采集及所含元素的數(shù)據(jù)分析工作，使得全新的第四代 VEGA SEM 成為質(zhì)量控制、故障分析和研究實(shí)驗(yàn)室中常規(guī)材料等檢測(cè)提供更高效的分析的解決方案。

TESCAN VEGA 第四代鎢燈絲掃描電子顯微鏡，采用全新的 Essence™ 電鏡操控軟件系統(tǒng)，將掃描形貌圖像與元素實(shí)時(shí)分析集成于同一個(gè)掃描窗口中。這種組合大大簡(jiǎn)化了樣品表面形貌的采集及所含元素的數(shù)據(jù)分析工作，使得全新的第四代 VEGA SEM 成為質(zhì)量控制、故障分析和研究實(shí)驗(yàn)室中常規(guī)材料等檢測(cè)提供更高效的分析的解決方案。

TESCAN VEGA 采用創(chuàng)新的電子光學(xué)設(shè)計(jì)，確保在需要時(shí)即時(shí)、無(wú)縫地選擇成像或分析條件，無(wú)需對(duì)任何電子光學(xué)鏡筒內(nèi)的元件進(jìn)行機(jī)械對(duì)中?？梢耘渲谜婵站彌_節(jié)能單元，使用后可顯著縮短機(jī)械泵的運(yùn)行時(shí)間，從而達(dá)到節(jié)能、環(huán)保的要求。

TESCAN VEGA 鎢燈絲掃描電鏡

主要特點(diǎn):

• *集成的 TESCAN Essence™ EDS 分析平臺(tái)，在 Essence™ 電鏡操控軟件的單一窗口中即可實(shí)現(xiàn) SEM 成像和元素成分分析。

• TESCAN 采用*的無(wú)機(jī)械光闌設(shè)計(jì)，采用實(shí)時(shí)電子束追蹤（In Flight Beam Tracing™）的技術(shù)，可幫助用戶快速獲得電鏡合適的成像及分析條件。

• *的大視野光路（Wide Field Optics™）設(shè)計(jì)，低至2倍的放大倍數(shù)，無(wú)需額外的光學(xué)導(dǎo)航攝像頭即可輕松、精確地實(shí)現(xiàn) SEM 導(dǎo)航。

• 直觀、模塊化的 Essence™ 軟件設(shè)計(jì)，不同經(jīng)驗(yàn)等級(jí)的用戶均可輕松操作。

• 在樣品臺(tái)及裝置的樣品運(yùn)動(dòng)過(guò)程中，Essence™ 3D 防碰撞模塊可以直觀的顯示安裝樣品室內(nèi)的探測(cè)器及樣品臺(tái)的位置信息，提供安全性的保護(hù)。

• SingleVac™ 模式作為標(biāo)準(zhǔn)配置，為觀測(cè)不導(dǎo)電樣品和電子束敏感的樣品提供便利的分析利器。

• 可選配的真空緩沖節(jié)能單元可顯著縮短機(jī)械泵的運(yùn)行時(shí)間，提供環(huán)保、高經(jīng)濟(jì)效益的電子顯微鏡。

• 模塊化分析平臺(tái)，可選配集成最多種類的探測(cè)器和附件（如陰極熒光探測(cè)器，水冷背散射電子探測(cè)器或拉曼光譜儀等）。

TESCAN VEGA 鎢燈絲掃描電鏡

大視野設(shè)計(jì)，實(shí)現(xiàn)低倍精確導(dǎo)航

利用大視野光路(Wide Field Optics™)技術(shù)，用戶可通過(guò)掃描窗口實(shí)時(shí)觀察樣品，直接實(shí)現(xiàn)感興趣位置的精確導(dǎo)航。大視野光路技術(shù)取代了傳統(tǒng)的CCD導(dǎo)航相機(jī)，提供大景深，同時(shí)也提供樣品實(shí)際形貌的圖像，實(shí)現(xiàn)更直觀、先進(jìn)的樣品導(dǎo)航過(guò)程。在 SEM 觀測(cè)窗口中，最小2倍的放大倍率保證了大視野無(wú)畸變的圖像實(shí)時(shí)觀測(cè)，可連續(xù)放大感興趣的區(qū)域，無(wú)需光學(xué)導(dǎo)航相機(jī)。實(shí)時(shí)的SEM窗口同樣可與預(yù)傾斜樣品臺(tái)（如 EBSD 預(yù)傾臺(tái)）配合使用，對(duì)于需要傾斜分析的樣品，支持掃描傾斜校正，從而實(shí)現(xiàn)更精確的導(dǎo)航。

自動(dòng)操作

通過(guò)一次點(diǎn)擊就可以進(jìn)行自動(dòng)燈絲加熱和電子槍對(duì)中。眾多的自動(dòng)程序減少了用戶的操作時(shí)間，并提供了操作的自動(dòng)導(dǎo)航與自動(dòng)化分析。通過(guò)內(nèi)置腳本語(yǔ)言（Python）用戶可以進(jìn)入軟件大多數(shù)功能，包括電鏡控制、樣品臺(tái)導(dǎo)航、圖像采集、處理與分析。通過(guò)腳本語(yǔ)言用戶也可以自定義軟件的自動(dòng)操作。

全新的 Essence^TM 電鏡控制軟件

• 用戶界面有各種語(yǔ)言版本。

• 集成的  Essence™ EDS 能譜軟件，輕松快捷地實(shí)現(xiàn)從成像切換到元素分析，通過(guò)軟件一鍵即可實(shí)現(xiàn)所有設(shè)置參數(shù)的更改。
  

• 具備快速搜索功能、命令撤消及參數(shù)預(yù)設(shè)等多種功能，幫助用戶高效、快捷地完成分析工作。

• 允許用戶設(shè)定符合其自身體驗(yàn)水平或特定應(yīng)用的工作流程。

• Essence™ 防碰撞模型軟件能夠直觀的模擬出樣品室內(nèi)情況，有效避免碰撞的發(fā)生。
  

• 內(nèi)置的自動(dòng)系統(tǒng)檢查。

• 通過(guò)局域網(wǎng)或互聯(lián)網(wǎng)可實(shí)現(xiàn)電鏡遠(yuǎn)程診斷。

• 模塊化軟件體系結(jié)構(gòu)。

• 標(biāo)準(zhǔn)的軟件模塊包括了：光電聯(lián)用、測(cè)量工具、圖像處理、對(duì)象區(qū)域等。

• 選配軟件包括了：顆粒度分析、三維表面重構(gòu)等。

軟件：

• 測(cè)量軟件, 公差測(cè)量軟件
  

• 圖像處理

• 預(yù)設(shè)參數(shù)

• 直方圖及LUT

• SharkSEM™ 基礎(chǔ)版 (遠(yuǎn)程控制)

• 3D 防碰撞模型軟件

• 對(duì)象區(qū)域

• 光電聯(lián)用

• 定時(shí)關(guān)機(jī)

• CORAL™（用于生命科學(xué)的電鏡模塊）

• 自動(dòng)拼圖軟件

• 樣品觀察

• TESCAN Flow™ (離線處理軟件)

根據(jù)實(shí)際配置和需求

探測(cè)器和附件：

• 皮安計(jì)，包含防碰撞報(bào)警功能

• 樣品室內(nèi) Everhart-Thornley 式二次電子探測(cè)器 (SE)

• 用于觀察樣品室內(nèi)部情況的紅外攝像機(jī)

• 可伸縮-閃爍體式背散射電子探測(cè)器

• 陰極熒光探測(cè)器

• 共聚焦拉曼光譜
  

• 其它各種附件可供選擇