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TI 980 布魯克納米壓痕儀/硬度/楊氏/彈性模量系統(tǒng)

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布魯克納米壓痕儀/硬度/楊氏/彈性模量系統(tǒng)同時具有高的性能、靈活性、可信度、實用性和速度。基于海思創(chuàng)幾十年的技術(shù)創(chuàng)新,它為納米力學(xué)表征帶來了更高水平的性能、功能和易用性。TI 980達(dá)到了一臺優(yōu)異納米力學(xué)測試儀器所需的所有要求,實現(xiàn)了控制上突出的先進性和高效性,試驗上的靈活度與可實現(xiàn)性,測量穩(wěn)定性,以及系統(tǒng)設(shè)計的模塊化。

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布魯克納米壓痕儀/硬度/楊氏/彈性模量系統(tǒng)

納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)測試系統(tǒng),加速納米力學(xué)研究進入更高階段。

布魯克的海思創(chuàng)TI 980 TriboIndenter同時具有高的性能、靈活性、可信度、實用性和速度。基于海思創(chuàng)幾十年的技術(shù)創(chuàng)新,它為納米力學(xué)表征帶來了更高水平的性能、功能和易用性。TI 980達(dá)到了一臺優(yōu)異納米力學(xué)測試儀器所需的所有要求,實現(xiàn)了控制上突出的先進性和高效性,試驗上的靈活度與可實現(xiàn)性,測量穩(wěn)定性,以及系統(tǒng)設(shè)計的模塊化。

先進的Performech® II控制模塊和電子設(shè)計

高速閉環(huán)的噪音控制

集成的帶輸入/輸出信號的多參數(shù)控制五百倍于前代產(chǎn)品的力學(xué)測試速度

多維度測量耦合

充分優(yōu)化各個傳感器的特質(zhì)適用不同測量需要,通過多維傳感器的選擇實現(xiàn)

不同測量間的無縫耦合多種有效的測試模塊配置,包括納米/微米壓痕、納米劃痕、納米摩擦磨損、高分辨原位掃描探針顯微鏡成像、動態(tài)納米壓痕和高速力學(xué)性能成像等。

豐富的系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)分析軟件

TriboScan(TM) 10提供了創(chuàng)新性的控制功能,包括XPM超快納米壓痕,SPM+原位掃描探針顯微鏡成像,動態(tài)表面搜索,全自動系統(tǒng)校準(zhǔn)和創(chuàng)新的測試程序。

Tribo iQ (TM)提供了強大的數(shù)據(jù)處理、分析和畫圖功能,并具有可編程數(shù)據(jù)分析模塊和自動生成的定制測試報告功能。

靈活性和具有前瞻性的表征潛質(zhì)

布魯克納米壓痕儀Ti 980提供了多級別的防護罩提供了*環(huán)境隔絕能力,并具有用于將來的升級可擴展接口萬能樣品臺提供了機械、磁性和真空固定方式,適用于各種樣品。

布魯克納米壓痕儀/硬度/楊氏/彈性模量系統(tǒng)

始終處于材料研究和開發(fā)的前沿

海思創(chuàng)從1992年起就處于納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)表征的位置。通過與研究人員和工程師的持續(xù)合作,布魯克理解您的*需求,通過創(chuàng)新的技術(shù)幫助您解決當(dāng)下和將來面臨的材料挑戰(zhàn)。海思創(chuàng)TI 980 TriboIndenter是這些努力的集大成者。它提供了好的性能,能滿足您持續(xù)更新的材料表征需求。

簡潔、高速的自動控制——系統(tǒng)自動校正使得每次測試都無懈可擊

針尖面積函數(shù)自動校正

傳感器自動校正

壓針和光學(xué)系統(tǒng)校正

自動測試程序

快速、多樣品自動測試功能實現(xiàn)高通量表征

智能化自動程序確保用戶選擇合適的針尖

高分辨多尺度成像結(jié)合全尺寸樣品的光學(xué)搜索,簡化測試流程

噪音水平,實現(xiàn)真正納米尺度表征

從微米到幾個納米的多尺度測量納牛級別的力噪音水平和小于90%原子直徑的位移測量能力,實現(xiàn)幾乎任何材料的定量表征

系統(tǒng)可實現(xiàn)超過6個數(shù)量級的力測量和10個數(shù)量級的位移測量

力和位移噪音水平保證在客戶現(xiàn)場安裝時實現(xiàn)

的反饋控制速率

布魯克納米壓痕儀Ti 980準(zhǔn)確控制測試過程實現(xiàn)大精度、可信度和重復(fù)性的真正定量納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)表征特殊的力和位移反饋控制方法用于海思創(chuàng)的傳感器-專門針對海思創(chuàng)傳感器物理特性開發(fā)的力與位移反饋控制算法每隔0.013毫秒實現(xiàn)一次完整反饋控制,使得系統(tǒng)能測量快速瞬態(tài)過程,并對其作出反饋,真正實現(xiàn)用戶的測試意圖-每隔0.013毫秒實現(xiàn)一次完整的感知-分析-控制的循環(huán),使得系統(tǒng)能對瞬態(tài)過程進行測量與反饋,以此重現(xiàn)用戶定義的測試方式

強大的測試模塊配置,優(yōu)化您的表征潛能

自下而上的先進設(shè)計提供了世界 xian jin的納米力學(xué)測試系統(tǒng)

實現(xiàn)豐富的潛在測試能力

Performech®  II高級控制模塊

準(zhǔn)確控制納米力學(xué)測試過程

力和位移噪音水平實現(xiàn)測量精度和重復(fù)性超快反饋控制算法提供整個測試過程的準(zhǔn)確控制專為各種不同測試而開發(fā)的一整套高性能傳感器

多達(dá)24個通道的數(shù)據(jù)采集能力,每個通道都能同時達(dá)到1.2MHz采樣率

多個測試頭的耦合——一整套傳感器適用于各種測試任務(wù)

任意兩個測頭之間無縫連接

標(biāo)配二維傳感器和nanoDMA III傳感器實現(xiàn)系統(tǒng)的多種測試功能和高性能

多種有效的測試模塊配置

納米壓痕:硬度,模量,蠕變,應(yīng)力弛豫,斷裂韌性、高速力學(xué)性能成像

納米摩擦:薄膜結(jié)合力,摩擦系數(shù),抗劃擦性能,磨損

掃描探針顯微鏡成像:形貌和梯度成像,納米級別定位精度,摩擦

力成像動態(tài)納米壓痕:隨著深度連續(xù)測量硬度和模量,存儲模量,損失模量,損耗角正切

布魯克納米壓痕儀Ti 980

nanoDMA III:動態(tài)納米壓痕

布魯克的nanoDMA III是強大的動態(tài)納米壓痕技術(shù)。它提供了彈/塑性和粘彈性隨著壓入深度、頻率和時間的變化關(guān)系。

全面表征各種材料的普適性方法,從較軟的聚合物到硬質(zhì)鍍層都能適用;

集成直流和交流調(diào)制使得從初始接觸點開始就能實現(xiàn)納米尺度動態(tài)性能的可靠、定量表征;

原位參考頻率法校正溫漂使得長時間測試的精度大大提高。

XPM:快速力學(xué)性能成像

不論是測量分辨率和精度,還是測量速度,XPM都是納米力學(xué)測試的業(yè)界新*。有了XPM,原來可能需要一整年才能獲得的數(shù)據(jù),現(xiàn)在只需要一個下午就能獲得。這些性能是通過以下三個業(yè)界的技術(shù)實現(xiàn)的。1)高帶寬靜電激勵傳感器;2)快速控制和數(shù)據(jù)采集電子系統(tǒng);3)自上而下的原位掃描探針顯微鏡成像。這些技術(shù)聯(lián)用能實現(xiàn)每秒六次納米壓痕測試,從而獲得全面的定量納米力學(xué)性能圖譜以及性能分布的統(tǒng)計數(shù)據(jù)。

更少時間測量更多參數(shù)

超高速定量力學(xué)性能測量(每秒6次測量)快速、高分辨空間硬度和模量分布統(tǒng)計一分鐘內(nèi)可靠完成針尖函數(shù)自動校正;比傳統(tǒng)納米壓痕測試快500倍的數(shù)據(jù)采集速率 xSol 環(huán)境控制腔及載臺,可實現(xiàn)非常不好的環(huán)境條件下高通量測量。

SPM+實現(xiàn)納米力學(xué)測試前后的準(zhǔn)確原位成像

布魯克的掃描納米壓痕技術(shù)使用同一根探針實現(xiàn)樣品表面形貌成像和納米壓痕測試。這種方法實現(xiàn)了高的定位精度,并且可以在納米壓痕測試后立即對樣品塑性形變進行成像,加快測試速度。

高定位精度(+/-10nm——可以從64x644096x4096范圍內(nèi)設(shè)定掃描分辨率,可以對各種高長寬比的特征形貌進行不同X-Y分辨率成像,納米力學(xué)性能成像分辨率和調(diào)色板可以和摩擦力成像,nanoDMA IIInanoECRxSol環(huán)境控制腔等聯(lián)用

強大的系統(tǒng)控制和分析

TriboScan 10:強大的測試靈活性提供了無限的測試可能性

將布魯克納米壓痕全套測試技術(shù)集成到一個直觀的軟件內(nèi),基于標(biāo)簽頁架構(gòu)的軟件設(shè)計使得用戶可以方便的使用軟件功能,靈活的測試過程分段定義方法提供了適用于所有測試模式的優(yōu)異控制

TriboIQ: 可編程數(shù)據(jù)分析程序

易用的操作界面,從簡單到復(fù)雜的可定制數(shù)據(jù)分析包直觀的數(shù)據(jù)組織和分析流程,簡單點擊即可生成數(shù)據(jù)報告直觀可自定義的數(shù)據(jù)處理和分析模塊開放式架構(gòu)使得多用戶合作更加容易

海思創(chuàng)TI980升級選項

xSol環(huán)境控制腔與載臺

環(huán)境控制腔實現(xiàn)了定量納米力學(xué)性能和納米摩擦學(xué)特征隨著溫度、氣氛和濕度的變化。

nanoECR

納米壓痕測試的原位導(dǎo)電特性可以和納米力學(xué)性能,材料形變行為和接觸電阻等同步研究。

xProbe

基于MEMS傳感器的探針可以實現(xiàn)原子力顯微鏡級別的超低力和位移噪音水平。

iTF

原位薄膜力學(xué)性能分析包提供了排除基底效應(yīng)影響的薄膜和多層膜結(jié)構(gòu)的定量

力學(xué)性能。


3D OmniProbe和多量程

通過擴展力和位移測量量程實現(xiàn)微米尺度的力學(xué)和摩擦學(xué)特性表征。

NanoProbe


同步拉曼光譜

原位研究力學(xué)性能和摩擦學(xué)特性與材料結(jié)構(gòu)和化學(xué)成分的相關(guān)性。

模量成像

動態(tài)掃描納米壓痕模式提供材料表面的定量、高分辨模量分布。

熒光顯微鏡聯(lián)用

集成熒光顯微鏡可實現(xiàn)熒光共定位納米力學(xué)測試等。

電化學(xué)模塊

實現(xiàn)氧化和還原環(huán)境下的原位定量納米力學(xué)和納米摩擦學(xué)行為研究。

自動探針更換模塊

按鈕操作的自動探針更換模塊。

樣品臺

多尺度的磁性、機械和真空固定方式可以固定幾乎所有待測樣品,包括300mm晶圓。

TriboAE™

聲音傳感器能通過針尖原位監(jiān)測納米壓痕過程中的斷裂和形變產(chǎn)生的聲音信號。

TriboImage™

納米尺度劃痕/磨損的實時表征。





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