主要特點
的多探針系統(tǒng) Nanonics原子力顯微鏡*多可以同時進行四探針測試,光纖探針各自獨立控制,可以同時分別、獨立進行如滴液、加壓,電學(xué),熱學(xué)方面的測試等不同的工作。
磚利技術(shù)的扁平3D 掃描臺 具有磚利技術(shù)的掃描臺上下光路開闊,可以將上,下置光學(xué)共聚焦顯微鏡上乘整合到AFM掃描平臺上,在無需更換任何探頭的情況下同步完成的一系列的探針掃描,光學(xué)測量,力學(xué)測量,熱學(xué)電學(xué)測量等測試手段,節(jié)約了用戶大量的時間和精力并保證了樣品測試的連貫性。通常很多廠家儀器做不同測試的時候探頭都需要更換,不能同步聯(lián)用并且費時費力。Nanonics這項磚利是目前市場上有一無二的優(yōu)勢技術(shù),并且探針掃描臺和樣品掃描臺可以獨自運作,即可以探針不動,樣品移動;或者樣品不動,探針移動,其它廠家無法提供這種的掃描方式。掃描的步進位移通過壓電陶瓷驅(qū)動精度,Nanonics原子力顯微鏡分別提供一個85um樣品掃描臺和30um探針掃描臺,XY方向的掃描范圍是110*110um。尤其是Z方向的大掃描范圍是所有AFM廠家無法提供的。另外一個3D掃描臺提供探針掃描和樣品掃描兩種模式,在所有AFM 電鏡中是有一無二的設(shè)計。
的音叉反饋機制 常規(guī)的AFM反饋通過激光反射反饋,具有噪音大,調(diào)試?yán)щy,受干涉情況;尤其在液體中或者做光學(xué)測試的時候,例如近場光學(xué),AFM-Raman測試中,容易**涉或者干涉有效信號。音叉反饋采用常規(guī)力學(xué)反饋避免了以上所有弊病,安裝簡單,結(jié)構(gòu)穩(wěn)定。
磚利技術(shù)的懸臂光纖彎針 。Nanonics 原子力顯微鏡的玻璃探針可提供暢通的光學(xué)通道,光線能以與傳統(tǒng)直線式近場光學(xué)元件相同的效率和偏振性傳輸?shù)教结?*。玻璃探針可以做成中空型,用于加載光纖或?qū)崿F(xiàn)Nano-Pen功能。
多種探針通用平臺 Nanonics 原子力顯微鏡系統(tǒng)不僅可以使用玻璃光纖探針,也可以使用傳統(tǒng)的商業(yè)化AFM/NSOM硅探針,提供了一個通用多探針使用平臺??蛻粢部梢砸笫褂贸R?guī)硅懸臂探針。另外Nanonics還可以根據(jù)客戶不同的需要定制探針。
****的Z 方向探測深度 MV4000在Z方向*大可探測深度為140um?,非常適合深溝狀樣品。的懸臂設(shè)計不僅能探測深溝底部的形貌,而且可以對側(cè)面進行檢測。常規(guī)的硅懸臂探針無法做深溝探測。
的光學(xué)友好性 Nanonics原子力顯微鏡的玻璃光纖探針可提供暢通的光學(xué)通道,可同時和正置與倒置顯微鏡配合使用,實現(xiàn)透射式、反射、照明模式、收集模式(Nanonics的)等多個功能。光纖探針具有良好的光學(xué)性能和光導(dǎo)性能,這是硅懸臂探針無法做到的。
拉曼連用平臺 MV4000的玻璃光纖探針具有光學(xué)友好特性,可與任何拉曼光譜儀整合,例如常用的Reinshaw 和JY Raman系統(tǒng)??蓪崿F(xiàn)在線AFM形貌掃描,拉曼Mapping,自動共聚焦,提高拉曼的精度。配合NSOM可以完成微區(qū)Raman,并且還可以做熒光和微區(qū)熒光掃描。由于的掃描平臺,AFM-Raman 聯(lián)用不僅可以掃描透明樣品還可以掃描不透明的塊狀和薄膜樣品,這也是在AFM-Raman 聯(lián)用案例中的設(shè)計。
的TERS玻璃探針 Nanonics在玻璃光纖探針的**采用磚利的獨立金球技術(shù),與其他涂層探針相比,不會因在長時間使用后,受到激光影響而脫落,更為穩(wěn)定,效率更高。配合的掃描臺設(shè)計,可以在光源位置找到*佳激光偏振位置獲得*好的TERS信號源。這也是其它廠家不具備的特點。
原子力掃描表征
-接觸模式(可選)
-探針或者樣品掃描都具有所有原子力顯微鏡的操作模式。
近場光學(xué)成像和激發(fā)表征
-透射,反射,收集,激發(fā)模式
界面差別對比表征
-反射和透射模式
折射系數(shù)分析表征
-反射和透射模式
熱導(dǎo)和阻值擴散分析表征
-接觸AC模式
-無反饋激光通過外部媒介導(dǎo)入半導(dǎo)體,使用音叉反饋
在線遠(yuǎn)場共聚焦拉曼和熒光光譜成像
-反射和透射模式
-針尖增強拉曼散射和在超薄層面上做選擇性拉曼散射,例如應(yīng)變硅
納米刻蝕
-納米“筆”探針輸送多種化學(xué)物質(zhì)和氣體
-近場光學(xué)刻蝕和常規(guī)方式的納米刻蝕技術(shù)比如電子氧化等,并且可-以同時使用另外一根探針做在線同步分析
納米壓痕
-使用兆級帕斯卡壓強,通過另外一個附加探針的在線同步分析將力學(xué)探針**定位和控制。
++++++SPM 掃描頭參數(shù)
樣品掃描器
-壓電掃描平臺 (3D 掃描臺™)
-高度7毫米
探針掃描器
-四個獨立控制的壓電掃描平臺(3D 掃描臺™)模塊
-高度7毫米
掃描范圍
-每根單探針掃描范圍30 微米 (XYZ方向)
-僅樣品掃描器掃描范圍100微米(XYZ方向)
-樣品掃描器和單探針掃描器掃描范圍130微米 (XYZ方向)
-樣品掃描器和雙探針掃描器掃描范圍160微米(XY方向)
掃描分辨率
- < 0.05 納米 (Z方向)
-< 0.15納米(XY方向)
-< 0.02納米(XY方向) 低電壓模式
粗定位
-樣品粗調(diào)定位: XY 馬達(dá)驅(qū)動范圍5mm-分辨率0.25微米
-針尖粗調(diào)定位:
-XY方向馬達(dá)驅(qū)動-驅(qū)動范圍5mm-分辨率0.25微米
-Z方向馬達(dá)驅(qū)動-驅(qū)動范圍10mm-分辨率0.065微米
反饋機制
-音叉反饋(標(biāo)準(zhǔn))
-激光反射反饋(可選)
常規(guī)樣品尺寸
-標(biāo)準(zhǔn)尺寸可達(dá)到16毫米
-使用上置光學(xué)顯微鏡操可達(dá)到34毫米
-不使用樣品掃描方式可以達(dá)到55毫米
-有些客戶樣品尺寸達(dá)到200mm也能掃描
-非常規(guī)尺寸樣品:例如橫截面高低起伏較大的樣品等一些特殊形狀樣品
探針
-的玻璃探針,針尖可以提供不同的形貌和參雜金屬顆?;蛘咄繉?
各種形式的常規(guī)硅懸臂探針也可以使用
++++++成像分辨率
遠(yuǎn)場成像分辨率
-到達(dá)衍射限制
光學(xué)成像分辨率
-非共聚焦下光學(xué)分辨率500納米左右
共聚焦成像分辨率
-200納米
近場光學(xué)成像分辨率
-安裝時保證100納米分辨率;50納米分辨率也可以提供
形貌成像分辨率
-Z 方向噪音有效值0.05 納米(RMS)
-XY 橫向分辨率:根據(jù)樣品和針尖直徑情況
熱學(xué)成像分辨率
-*少100納米
阻值成像分辨率
-*少25納米
++++++熱學(xué)&阻值成像
溫度參數(shù)
-300度或者更高,要考慮樣品情況
熱學(xué)參數(shù)
-的雙根納米鉑絲嵌在絕緣玻璃探針中
-熱敏感度0.01 oC
-測量阻值改變速率為0.38 Ω/oC
阻值特點
-的雙根納米鉑絲嵌在絕緣玻璃探針中并且可以做出不同的形狀結(jié)構(gòu)和涂層
-超高電勢分辨率
-接觸電阻極微小
-電學(xué)穩(wěn)定& 抗氧化
++++++在線光學(xué)和電子/離子光學(xué)掃描同步完成
可以完成的表征類別
-遠(yuǎn)場光學(xué),共聚焦光學(xué),近場,微區(qū)拉曼,掃描電子顯微鏡(SEM)或者聚焦離子束(FIB)
整合優(yōu)勢
-樣品掃描臺上下光路開闊,可以做光學(xué)或電子/離子光學(xué)特征同步掃描聯(lián)用
-將所有形式的光學(xué)顯微鏡整合在一起,包括上置光學(xué)顯微鏡和下置光學(xué)顯微鏡同時整合在探針掃描平臺上
-整合了所有標(biāo)準(zhǔn)微區(qū)拉曼180度背反射幾何形貌配置。下置光學(xué)顯微鏡和Nanonics的上下置光學(xué)顯微鏡可以做不同的透明和非透明樣品
-具有所有常規(guī)的遠(yuǎn)場光學(xué)操作模式包括相位成像和界面差別對比
-可以使用上置,下置和雙置光學(xué)顯微鏡做任何模式近場光學(xué)掃描,無需更換掃描頭保證了實驗結(jié)果穩(wěn)定性和可重復(fù)性。
探測器類別
-PMT, APD 或者InGaAs 紅外探測器
激光光源
-可提供深紫外到近紅外激光
電視頻系統(tǒng)
-在線CCD 視頻成像