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XD Laser 激光干涉儀

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1D激光主要可以測量定位誤差

3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)

5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動角

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技術(shù)綜述:

1D激光主要可以測量定位誤差
3D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)
5D/6D激光可以測量定位誤差、直線度誤差(雙向)、偏擺角、俯仰角和滾動角
 
技術(shù)參數(shù):
 
5D/6D標(biāo)準(zhǔn)型: 
1. 線性:0.5ppm .
2. 測量范圍:40米(1D可選80米)
3. 線性分辨力:0.001um.
4. 偏擺角和俯仰角的精度:(1.0+0.1/m)角秒或1%顯示較大值
5. zui大范圍:800角秒
6. 滾動角精度:1.0角秒
7. 直線度精度:(1.0+0.2/m)um或1%顯示較大值
8. 直線度zui大范圍:500um
9. 垂直度精度:1角秒
10. 溫度精度:0.2攝氏度
11.濕度精度:5%
12.壓力精度:1mmHg
主要特點(diǎn)
1. 同時(shí)測量線性定位誤差、直線度誤差(雙軸)、偏擺角、俯仰角和滾動角
2. 設(shè)計(jì)用于安裝在機(jī)床主軸上的5D/6D傳感器
3. 可選的無線遙控傳感器zui長的控制距離可到25米
4. 可測量速度、加速度、振動等參數(shù),并評估機(jī)床動態(tài)特性。
5. 全套系統(tǒng)重量僅15公斤,設(shè)計(jì)緊湊、體積小,測量機(jī)床時(shí)不需三角架
6. 集成干涉鏡與激光器于一體,簡化了調(diào)整步驟,減少了調(diào)整時(shí)間
儀器介紹
         5D/6D激光干涉儀是API的產(chǎn)品,一次安裝能夠同時(shí)測量線性軸的六個(gè)誤差,包括1個(gè)位置度誤差、2個(gè)直線度誤差、3個(gè)角度誤差。在通常情況下需要數(shù)天時(shí)間進(jìn)行的測試,使用API激光干涉儀只需幾個(gè)小時(shí)即可完成,實(shí)際應(yīng)用結(jié)果表明,節(jié)省時(shí)間可達(dá)80%。該儀器體積小,重量輕,可以直接安裝到機(jī)床導(dǎo)軌上。6D激光干涉儀主要由穩(wěn)頻激光器、干涉儀和6維傳感器組成,從激光器發(fā)出的激光光束經(jīng)過干涉后,被6D傳感器內(nèi)的分光鏡分成三束,一束光經(jīng)錐角反射棱鏡反向后返回干涉儀與參考光束相干產(chǎn)生干涉條紋,經(jīng)光學(xué)相位探測器識別后進(jìn)行電子記數(shù),記錄精確長度位移。第二束光用作直線度測量的參考光束,傳感器與參考光束之間的相對位移由裝在傳感器內(nèi)的橫向疚光電二級管測得。第三束光用作裝在6D傳感器內(nèi)的小型光電測角儀的參考光源,用來測量角度誤差(俯仰角和偏擺角)。為了保證激光光束的穩(wěn)定性,測量儀在結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)以及激光器的選擇方面都做了仔細(xì)周密的考慮,以使測量儀的橫向和角度漂移量都降低到zui小,從而保證測量儀的*穩(wěn)定性。測量儀配有自動氣壓、環(huán)境溫度補(bǔ)償器,自動校正環(huán)境變化對激光波長及長度測量的影響,測量儀還配有專門設(shè)計(jì)的多重?cái)?shù)字濾波器,使由空氣波動及溫度梯度引起的測量誤差降到zui小。


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