SID4-UV 紫外/
【SID4-UV分析儀簡(jiǎn)介】
隨著光波波前探測(cè)技術(shù)的發(fā)展，各種波前傳感器應(yīng)運(yùn)而生。從測(cè)量原理上可以分成兩類(lèi)：一類(lèi)是根據(jù)幾何光學(xué)原理，測(cè)定波前幾何像差或面型誤差，主要有Shack－Hartmann 波前傳感器，曲率傳感器和Pyramid 波前傳感器等；另一類(lèi)是基于干涉測(cè)量原理，探測(cè)波前不同部分的干涉性，來(lái)獲取波前信息，主要有剪切波前傳感器和相位獲取傳感器等。剪切干涉儀波前傳感器不需要精確的參考標(biāo)準(zhǔn)鏡;它們結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，抗力強(qiáng)，條紋穩(wěn)定。SID4-UV波前分析儀是測(cè)量光學(xué)元件和光束波前質(zhì)量的一種很好的替代傳統(tǒng)干涉儀的方法。SID4-UV波前分析儀作為低可至波長(zhǎng)250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV波前分析儀非常適合于紫外光學(xué)測(cè)量，包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)。
【關(guān)于】
是一家專(zhuān)注于高分辨率傳感技術(shù)的法國(guó)公司。Phasics公司憑借其在測(cè)量方面的專(zhuān)業(yè)經(jīng)驗(yàn)與的波前測(cè)量技術(shù)為客戶提供全面的高性能。
一、 SID4-UV波前分析儀/波前傳感器主要特點(diǎn)
250 x 250超高相位取樣分辨率
2 nm RMS高相位靈敏度
紫外波段波前測(cè)量的通用解決方案
非準(zhǔn)直光入射 消色差
二、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀產(chǎn)品應(yīng)用
基于四波剪切技術(shù)，Phasics 的波前傳感器同時(shí)提供具有的高分辨率的相位和強(qiáng)度測(cè)量。 波前傳感器與其光束分析軟件相結(jié)合，可提供完整的激光診斷：波前像差、強(qiáng)度分布、激光參數(shù)（M2、束腰尺寸和位置等）。Phasics 的波前分析儀可以放置在光學(xué)裝置的任何一點(diǎn)，無(wú)論光束是準(zhǔn)直的還是發(fā)散的。作為低可至波長(zhǎng)250 nm的高分辨率波前傳感器，SID4-UV非常適合于紫外光學(xué)測(cè)量，包括用于光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征，以及透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)。
SID4系列波前傳感器可以配合用戶自行搭建的光路系統(tǒng)進(jìn)行像質(zhì)評(píng)價(jià)，只需一次直接拍攝，就可以通過(guò)軟件后處理測(cè)量參數(shù)(PSF, MTF, Zernike系數(shù))。如果不能自行搭建光路系統(tǒng)，也可以進(jìn)一步了解Kaleo Kit 套裝等產(chǎn)品測(cè)量MTF等產(chǎn)品。
三、SID4-UV波前傳感器/波前分析儀應(yīng)用領(lǐng)域
紫外光學(xué)測(cè)量| 光刻或半導(dǎo)體應(yīng)用紫外激光表征| 透鏡和晶圓的表面面型檢測(cè)| | 等離子體密度
四、SID4-UV波前分析有/波前傳感器主要規(guī)格
波長(zhǎng)范圍 | 250-400nm |
| 靶面尺寸 | 7.4 x 7.4 mm2 |
| 空間分辨率 | 29.6 µm |
| 取樣分辨率 | 250 x 250 |
| 相位分辨率 | 2 nm RMS |
| 精度 | 10 nm RMS |
| 采集速率 | 30 fps |
| 實(shí)時(shí)處理速度 | > 2 fps (全分辨率下) |
五、與夏克-哈特曼波前傳感器對(duì)比
六、更多參數(shù)選型
