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超精密光學(xué)應(yīng)力測量設(shè)備

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150AT全自動測量系統(tǒng)全自動應(yīng)力雙折射測量系統(tǒng)150AT應(yīng)力雙折射系統(tǒng)是應(yīng)力雙折射測量系統(tǒng)家族系列產(chǎn)品

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150AT全自動測量系統(tǒng)

 

全自動應(yīng)力雙折射測量系統(tǒng)


150AT 應(yīng)力雙折射系統(tǒng)是應(yīng)力雙折射測量系統(tǒng)家族系列產(chǎn)品。該應(yīng)力雙折射測量系統(tǒng)既可作為實驗室科研探索測量光學(xué)組件應(yīng)力分布測量,也可用作諸如玻璃面板,透鏡,晶體,硅/多晶硅、注塑成品等工業(yè)生產(chǎn)中檢測產(chǎn)品應(yīng)力分布。產(chǎn)品軟件直觀顯示待測樣品應(yīng)力情況,便于操作和日常監(jiān)測。

 

150AT 應(yīng)力雙折射系統(tǒng)可以根據(jù)客戶需求選擇設(shè)置,使得測量更有針對性(高精度/大范圍相位延遲量),系統(tǒng)有著測量速度的同時也具有的測量分辨能力(<1 mm="" grid="" spacing="">等設(shè)計來幫助客戶完成一些非常規(guī)掃描/測量需求。



產(chǎn)品特點

自動X/Y位移平臺掃描
二維/三維圖形/參數(shù)表格顯示樣品應(yīng)力分布測量結(jié)果
臺式整機設(shè)計組裝
靈活位移平臺設(shè)計,滿足個性化定制需求
強大數(shù)據(jù)擬合分析功能和友好用戶界面

 

參數(shù)


高精度測量系統(tǒng)選項

大范圍相位延遲量測量選項

相位延遲量范圍:

0.005 to 120+   nm

0.005 to 300+   nm

相位延遲量測量分辨率/
 
重復(fù)精度1, 2, 3:

0.001 nm / ±   0.008 nm

0.0

1 nm / ± 0.015   nm

角度測量分辨率 /
 
重復(fù)精度1:

0.01o / ±   0.05°

0.01o / ±   0.07°

測量速率 / 時間4:

up to 100 pps   /
  sample size dependent


尺寸:

910 mm (H) x   415 mm (W) x 700 mm (D)


光源波長5:

Various (632.8   nm standard)


測量光斑6:

Between 1 mm   and 3 mm native
  (can be as low as 50 µm)


內(nèi)置測量調(diào)制頻率:

PEMLabsTM Photoelastic   Modulator
  50 kHz or 50/60 kHz


解調(diào)分析技術(shù):

Hinds   Instruments SignalocTM
  Lock-in Amplifier or Wave Form
  Capture Card


測量單位:

nm   (retardation), ° (angle)


 

1 Typical performance at 5 nm retardation

2 Up to 0.8 nm, 1% thereafter

3 Up to 1.5 nm, 1% thereafter

4 Maximum data collection speed. Sample XY scan time dependent on stage movement parameters.

5 Custom wavelengths available

6Spot sizes of less that 1 mm native require optional high resolution detector module

 

選項:

* Additional Polarization Parameters

* 超高速掃描選項

* 光譜掃描測量和RGB測量

* 客戶定制內(nèi)置波長選項(紫外/紅外)

* 手動/自動傾斜位移平臺裝置

* 定制樣品平臺加持誰記

* 定制化顯示界面 (UI or DLL)

* 應(yīng)力計算評估軟件



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