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原位薄膜厚度測量儀-MPROBE 50 INSITU

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MPROBE 50 INSITU – 實時薄膜厚度測量儀


 


原位薄膜厚度測量儀-MPROBE 50 INSITU用于測量薄膜厚度和 n&k(光學常數(shù))的實時光學測量儀。該系統(tǒng)可以在高環(huán)境光下工作,因為它使用門控數(shù)據(jù)采集。原位薄膜厚度測量儀-MPROBE 50 INSITU使用高強度閃光氙燈在寬帶 ( UV-NIR) 波長范圍內進行精確測量。MProbe 50 系統(tǒng)是可定制的,以支持不同的幾何形狀。原位薄膜厚度測量儀-MPROBE 50 INSITU根據(jù)可用的光學端口,可以使用斜入射或垂直入射。光可以聚焦在樣品表面或準直。反射探頭可以放置在沉積室光學端口的外部或內部(使用饋通)。MProbe 50 系統(tǒng)沒有活動部件。典型測量時間~10ms。可以快速可靠地測量任何半透明薄膜。

 

原位薄膜厚度測量儀-MPROBE 50 INSITU優(yōu)勢:

1.原位薄膜厚度和 n&k 測量

2.用于高環(huán)境光環(huán)境下測量的門控數(shù)據(jù)采集

3.材料:500+ 擴展材料數(shù)據(jù)庫

4.連續(xù)、快速和可靠的測量

5.靈活的配置——定制以匹配沉積室的幾何形狀


 原位薄膜厚度測量儀-MPROBE 50 INSITU選型列表:

MProbe50 

 波長范圍

    厚度范圍

   VIS

400nm -1100nm

   15nm – 20 μm

 HRVIS

700nm-1000nm

    1μm-400μm

   NIR

900nm-1700nm

  100nm – 200μm

  UVVisF

200nm -900nm

   1nm – 20μm

 UVVISNIR

200nm-1700nm

   1nm -200μm

XT

1590nm -1650nm

   10μm-1mm



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