超緊湊機(jī)光刻技術(shù)實(shí)際上是一種精密表面加工技術(shù)，它借助于一定波長的激光光源以及選擇性的化學(xué)腐蝕和刻蝕技術(shù)把設(shè)計(jì)的微納圖案轉(zhuǎn)移到硅基板上

超緊湊機(jī)

光刻技術(shù)實(shí)際上是一種精密表面加工技術(shù)，它借助于一定波長的激光光源以及選擇性的化學(xué)腐蝕和刻蝕技術(shù)把設(shè)計(jì)的微納圖案轉(zhuǎn)移到硅基板上。但是隨著集成電路功能和密度的提升傳統(tǒng)的光刻技術(shù)已經(jīng)難以滿足當(dāng)前對(duì)線寬越來越小的需求。但是打破衍射極限的大型光刻設(shè)備又極其昂貴。為了擺脫光學(xué)衍射極限和克服高成本的限制，一種操作簡(jiǎn)單，成本低廉的納米壓印技術(shù)產(chǎn)生了。納米壓印的技術(shù)核心是充分利用機(jī)械能將剛性模板上的圖案轉(zhuǎn)到抗蝕劑上，之后再借助溶脫、剝離、刻蝕等將圖案轉(zhuǎn)移到基板上。到目前為止壓印技術(shù)已經(jīng)發(fā)展出來多種類型，典型的包括熱塑壓印技術(shù)、紫外固化壓印、微接觸納米壓印、激光輔助納米壓印和滾軸式納米壓印技術(shù)等。

上海昊量光電設(shè)備有限公司推出的納米壓印機(jī)AU-CUI為熱壓印和紫外固化壓印設(shè)備。

AU-CNI納米壓印機(jī)是一款桌面大小的納米壓印和熱壓成型的機(jī)器。它可以用于微米或納米結(jié)構(gòu)的壓印成型。AU-CNI不但可以進(jìn)行熱壓印還可以進(jìn)行UV壓印。

對(duì)于熱壓印首先設(shè)備通過施加壓力使模板與基板緊密接觸，加壓范圍可達(dá)到11bar，通常依據(jù)溫度控制壓印過程。溫度可達(dá)到200℃，由于采用原位實(shí)時(shí)測(cè)量溫度，因此控溫精度可達(dá)到1℃。

UV曝光采用4個(gè)365nm的LED光源，組合光的功率可達(dá)到11.6W，LED的溫度被實(shí)時(shí)檢測(cè)，擁有過熱保護(hù)功能，即使出現(xiàn)過熱的現(xiàn)象也可以確保曝光劑量正確。

此外設(shè)備擁有簡(jiǎn)潔的操作軟件。通過軟件可以控制壓印的溫度、壓力、曝光時(shí)間等參數(shù)。并且可以編輯并存儲(chǔ)在該軟件中。

AU-CUI其操作簡(jiǎn)單，功能強(qiáng)大，易于實(shí)現(xiàn)新的實(shí)驗(yàn)和非標(biāo)準(zhǔn)的加工。是納米壓印的工具。

u  壓印圖案例：

u  產(chǎn)品特點(diǎn)：

l   操作簡(jiǎn)單

l   即插即用

l   結(jié)構(gòu)緊湊

l   多種用途

u  主要應(yīng)用

l  微米/納米結(jié)構(gòu)的壓印

l  高縱橫比結(jié)構(gòu)的壓印

l  聚合物的熱壓印

l  壓印模板制作

u  產(chǎn)品參數(shù)