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多路浮子控制供氣系統(tǒng)GSL-3F

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產(chǎn)品簡介:多路浮子控制供氣系統(tǒng)GSL-3F適用于控制一種到三種氣體的通入,管式爐可以置于其上,可用于CVD系統(tǒng)及退火爐,可用來研究氣體環(huán)境對材料的影響。

 

 

產(chǎn)品型號

多路浮子控制供氣系統(tǒng)GSL-3F

主要特點

1、適用于低壓小流量,多種氣體的單一或混合連續(xù)供氣。

2、尤其方便多種氣體切換使用,而不造成大氣進(jìn)入加熱管。

3、每條氣體管路均有一個高壓截止閥,有效確保安全。

4、氣體壓力和流量數(shù)據(jù)在同一平面直觀可讀,實用、簡便。

5、流量顯示準(zhǔn)確,可有效控制氣體的消耗量。

6、所有儀表及閥門均采用活接頭連接,便于維修和拆卸。

技術(shù)參數(shù)

1、氣路通道:三通道(可根據(jù)需要設(shè)計通道)

2、氣路流量控制器:浮子流量計

3、標(biāo)準(zhǔn)量程:10-100ml/min16-160ml/min,25-250ml/min

4、接口:Ø6.35mm

5、截止閥:Ø6.35mm

6、不銹鋼管:外徑Ø6mm×內(nèi)徑Ø4mm

7、混氣罐:Ø80mm×140mm

8、壓力真空表:-0.1MPa-0.15MPa,0.01MPa/grid

9、工作環(huán)境:5-45℃,高純氣體


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