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KS-41A(光阻專用) 液體顆粒度儀-LPC

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 上海納騰儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào) KS-41A(光阻專用)
  • 所在地
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2023/2/14 12:07:44
  • 訪問(wèn)次數(shù) 649

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光刻膠中顆粒數(shù)量需要管控。光刻膠溶液中的顆粒數(shù)量直接決定了圖案的加工質(zhì)量和后續(xù)器件的良率。液體顆粒度儀作為電子材料開(kāi)發(fā)的基本設(shè)備,用于在制造半導(dǎo)體、顯示面板過(guò)程中保持高清潔度的液體粒子計(jì)數(shù)器??蓹z測(cè)光阻產(chǎn)品、SOG 等產(chǎn)品中最小0.07um 的顆粒。適應(yīng)于光刻膠材料開(kāi)發(fā)和來(lái)料檢測(cè)。


KS-41A主要技術(shù)參數(shù)
測(cè)試方式:Off-line
測(cè)量最小粒徑:0.15um
粒徑范圍:0.15um-0.5um
出廠設(shè)定通道:0.15 / 0.2 / 0.3 / 0.5um
可自行擴(kuò)充至10Channels
液體流速: 10mL / min
光源:鐳射二極管(波長(zhǎng) 830nm,輸出功率:200mW)
可測(cè)試粒子濃度:1200 顆/mL(0.15um 的誤差值在 5%以內(nèi))



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