早期的三坐標(biāo)測量機的工作臺一般是由鑄鐵或鑄鋼制成的，但近年來，各生產(chǎn)廠家已廣泛采用花崗巖來制造工作臺，這是因為花崗巖變形小、穩(wěn)定性好、耐磨損、不生銹，且價格低廉、易于加工。有些測量機裝有可升降的工作臺，以擴大Z軸的測量范圍，還有些測量機備有旋轉(zhuǎn)工作臺，以擴大測量功能。
中圖儀器Mars系列全自動三坐標(biāo)測量機采用海德漢光柵尺，確保機器在使用過程中具有高的精度和長時間的穩(wěn)定性，且三軸均采用低熱膨脹系數(shù)的花崗巖導(dǎo)軌，機器具有良好的溫度適應(yīng)性，抗時效變形能力。儀器關(guān)鍵部件一體鑄造成型，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，強度高，運行更為快速平穩(wěn)、測量精度更高。
應(yīng)用領(lǐng)域
主要用于機械、汽車、航空、家具、工具原型、機器等中小型配件、模具等行業(yè)中的箱體、機架、齒輪、凸輪、蝸輪、蝸桿、葉片、曲線、曲面等的測量。還可用于電子、五金、塑膠等行業(yè)中，可以對工件的尺寸、形狀和形位公差進(jìn)行精密檢測，從而完成零件檢測、外形測量、過程控制等任務(wù)。
主要特點
1、三軸均采用低熱膨脹系數(shù)的花崗巖導(dǎo)軌，機器具有良好的溫度適應(yīng)性，抗時效變形能力。
2、環(huán)抱式的氣浮布局，使機器保持長時間的穩(wěn)定運行，并且具有高的運行精度。
3、關(guān)鍵部件一體鑄造成型，結(jié)構(gòu)緊湊，重量輕，強度高，運行更為快速平穩(wěn)、測量精度更高。
4、低摩擦阻力的氣缸，Z軸在運動過程中具有低摩擦阻力，提高Z軸運動的精度。
5、Mars系列國產(chǎn)三坐標(biāo)測量儀設(shè)備采用海德漢光柵尺，確保機器在使用過程中具有高精度和長時間的穩(wěn)定性。
6、高剛性傳動，保證了機器傳動的剛性和平穩(wěn)性，提高了機器的運動精度。
7、固定式的工作臺，使機器具有承載能力強、裝卸空間寬闊、便捷。
8、氣壓檢測安全裝置，保證Z軸不會因為斷氣而下墜，保證了測頭測座的安全。
Mars系列全自動三坐標(biāo)測量機主要有機械部件、電氣控制部件、計算機系統(tǒng)組成?？捎糜跈C械制造、汽車工業(yè)、電子工業(yè)、航空航天工業(yè)以及計量檢測等領(lǐng)域，是現(xiàn)代工業(yè)檢測和質(zhì)量控制的重要檢測設(shè)備。
