MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學(xué)系統(tǒng)，可達到高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀察，高品質(zhì)TEM樣品制備，電路修復(fù)，Vector Scan加工，微納米級微細圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。
MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng)：新型電子光學(xué)系統(tǒng)，可達到高水準的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率，使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能
可用于截面加工觀察，高品質(zhì)TEM樣品制備，電路修復(fù)，Vector Scan加工，微納米級微細圖形及磨具加工，利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。
焊線的截面加工
（加工尺寸 寬：95µm 深：55µm， 加工時間 20min）
正常部位
彎折部位
鋁罐的截面SIM圖像
可在樣品臺移動（包括傾斜）時自動對多個部位進行多種加工。
懸空納米導(dǎo)線制作
樣品來源：兵庫縣立大學(xué) 松井真二 先生
等間隔截面加工與截面觀察的往復(fù)進行，可取的多張截面連續(xù)SIM像，并進行3維重構(gòu)。由此可判斷樣品中顆粒，孔洞等3維分布狀態(tài)。
半導(dǎo)體封裝材料中的填料分布分析示例
該系統(tǒng)可對應(yīng)保護膜材料、配線材料、絕緣膜、加速蝕刻等多種用途，照射多種氣體。
使用XeF2氣體實現(xiàn)的大深徑比孔加工
以及采用鎢沉積引線
日立公司的坐標鏈接功能豐富多樣，可確定正確的加工位置和大幅縮短時間。
| 項目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 樣品尺寸 | 50mm×50mm×12mm（t）以下 |
| 樣品臺 | 5軸電動機械優(yōu)中心馬達臺 |
| 加速電壓 | 1～30kV?。?.5kV～ 選配） （0.5～1.0kV ： 步長0.1kV） （1.0～2.0kV ： 步長0.2kV） |
| 二次電子分辨率 | 4nm＠30kV |
| 探針電流 | 90nA |
| 探針電流密度 | 50A/cm2 |
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