• 超安靜運(yùn)動, 20 kHz驅(qū)動頻率
• 65 mm × 65 mm × 12 mm極緊湊外形設(shè)計(jì)
• 閉環(huán)控制 · 位置傳感?持電阻型(.R) 和光學(xué)型(.O)
• ?精度 · 空間傳感分辨率(.O) 1 nm 、10 nm可選
• 經(jīng)濟(jì)型 · 空間傳感分辨率(.R) 100-200nm
• 最?步伐優(yōu)于 10 nm
• 可提供多軸堆疊安裝轉(zhuǎn)接件
• 控制器兼容旋轉(zhuǎn)臺,搖擺臺
• ?持?磁( .NM)、?真空( .HV)和超?真空 ( .UHV)選件
2D ·尺?圖
LS65x.Lab.O / .R 壓電線性臺 — 技術(shù)參數(shù)
可選版本 ? | 正常版本 | .NM | .HV | .UHV |
.NM 絕對?磁版本; .HV, ?真空版本 ; .UHV ,超?真空版本; |
1 底?尺?*?度 | 65 × 65 mm × 12 mm |
2 主體材料 | 不銹鋼 | 純鈦 | 不銹鋼 | 不銹鋼 |
3 線纜 & 接頭 | 標(biāo)準(zhǔn)屏蔽線纜 DSub9 接頭 | kapton漆包線, PEEK-2mm插針 |
運(yùn)動參數(shù)-空間推薦安裝形式 I. (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測得) |
4 運(yùn)動?程 | 30 mm |
5 最?速度 | ~ 20 mm/s |
6 最?步伐 | ~ 10 nm |
7 驅(qū)動頻率 | Max. 20 kHz (超安靜運(yùn)動) |
8 最??平推? | 2 N |
9 保持? | 5 N |
| 0.3 mrad / 0.2 mrad |
10 全?程俯仰/偏擺 |
|
運(yùn)動參數(shù)-空間推薦安裝形式 II. (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測得) |
11 | 最?垂直負(fù)載 | 2 N |
12 | 保持? | 5 N |
傳感精度 |
13 位置傳感類型 | - 電阻型傳感( .R ) - 光柵尺傳感( .O ) |
14 位置傳感量程 | 30 mm |
15 位置傳感分辨率 | - 電阻型傳感( .R ), 100-200 nm - 光柵尺傳感( .O ), 10 nm, 1nm可選(默認(rèn) 10nm) |