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EX-S-3FP EXACTUS紅外測溫儀

參考價(jià)￥80000-￥150000/條
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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BASF公司 EXACTUS紅外測溫儀擁有專有技術(shù)，測溫精度高達(dá)1.5℃, 測溫重復(fù)性0.1℃，非常適用于晶圓的外延生長，氧化擴(kuò)/散，快速退火等工藝的溫度測量。根據(jù)響應(yīng)波長以及光學(xué)鏡頭的不同包括諸多型號如：EX-S-3FP, EX-S-7PY, EX-S-3PY, EX-S-2PY等等

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

主要特點(diǎn)

  • 使用短波進(jìn)行低溫測量 (≥ 25 oC)

  • 精密度高, 分辨率達(dá) 0.01 oC , 測溫精度1.5 oC

  • 測溫重復(fù)性 0.1 oC , 溫漂不高于 0.1 oC / 年

  • 測量速度達(dá) 1,000 值 / 秒

  • 數(shù)字/或模擬輸出, 易于集成到控制系統(tǒng)

  • 可同時(shí)進(jìn)行多達(dá)8通道的數(shù)據(jù)采集

詳細(xì)說明

作為擁有30多年歷史的貴金屬熱電偶行業(yè)先驅(qū)者, BASF已將其溫度測量技術(shù)專長應(yīng)用于光學(xué)溫度測量. EXACTUS紅外測溫儀取得了技術(shù)性突破，在非接觸式溫度測量中提供了顯著的性能優(yōu)勢 .

EXACTUS紅外測溫儀適用范圍廣泛.與其他典型的測量技術(shù)相比，超靈敏電子技術(shù)、精密光學(xué)技術(shù)以及利用短波長測量低溫的能力使得過程控制更加嚴(yán)格、精度更高、整體性能更好.

BASF的原創(chuàng)技術(shù)在控制晶圓之間溫度和薄膜厚度的均勻性方面具有許多優(yōu)勢. 高度敏感的電子學(xué)和先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)意味著可以用更短波長的探測器來測量輻射能. 這減少了晶圓透射及發(fā)射率造成的誤差.此外,高速測量和高分辨率確保了控溫和噪聲抑制的優(yōu)異性能. 由此提供了更好的晶圓溫度監(jiān)控和生產(chǎn)工藝.

典型應(yīng)用

  • 硅晶生長

  • 薄膜沉積

  • 激光/感應(yīng)焊接

  • 玻璃加工

  • 工業(yè)加熱




技術(shù)參數(shù)

測量參數(shù)
溫度范圍:

單色測溫：
65 – 1150℃(工作波長 0.7 - 1.6 μm)
100 – 1900℃ (工作波長 1.55 μm)
120 – 3000℃(工作波長 0.7 - 1.6 μm)
280 – 2200℃(工作波長 0.9 μm)
350 – 3000℃ (工作波長 0.9 μm)
500 – 3000℃ (工作波長 0.65μm)
采用特殊的光學(xué)器件可測量低溫至：
200℃(工作波長 0.90μm)
25℃(工作波長 0.7-1.6μm)

測量精度:優(yōu)于1.5℃ 或 0.15%測值
分辨率:

最高0.01℃

重復(fù)精度:0.1℃
溫度漂移:最大 0.10℃/年
環(huán)境: 0.05℃/℃ @ 20-45℃, 0.10℃/℃ @ 其它溫度
測量速率:最高1000 測值/秒, 響應(yīng)時(shí)間1ms
D:S標(biāo)準(zhǔn)鏡頭, 40：1
高分辨率鏡頭, 200:1
可按需訂制
物理參數(shù)
供電:12-28 VDC, 3W
存儲溫度:-20 to 70℃
環(huán)境溫度:

電子器件: 0 - 60℃
惡劣環(huán)境下專用鏡頭: 0 - 250℃
高溫光纖: 0 - 250℃

外殼材質(zhì):傳感器和鏡頭外殼，304 不銹鋼/鋁；
氣吹外殼，鋁；
惡劣環(huán)境專用鏡頭: 304 不銹鋼；
重量:標(biāo)準(zhǔn)高溫計(jì)，0.510 kg (1.125 lbs.)
光纖傳感器，0.198 kg (7 oz.)






北京宇冠世紀(jì)科技有限公司

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手機(jī)：18910232138

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