用于薄膜評(píng)估的波長色散X射線熒光光譜儀
同時(shí)對各種薄膜的薄膜厚度和成分進(jìn)行無損、非接觸式分析
這是一種波長色散X射線熒光光譜儀（WD-XRF），可以以非破壞性和非接觸方式同時(shí)分析尺寸達(dá)~200mm的晶圓上各種薄膜的厚度和組成。 XYθZ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)（方法）可以精確分析各種金屬膜，避免衍射射線的影響。 4kW大功率X射線管可實(shí)現(xiàn)超輕元素的高精度分析，例如BPSG薄膜的痕量元素測量和硼分析。 還支持C-to-C運(yùn)輸機(jī)器人（可選）。 它配備了自動(dòng)校準(zhǔn)（全自動(dòng)每日檢查和強(qiáng)度校正功能）。
支持微量元素的濃度和成分分析
適用于從輕元素到重元素的各種元素： 4是~92U
高靈敏度硼檢測儀AD-硼
我們不斷開發(fā)新的光學(xué)系統(tǒng)，例如提高硼分析能力，以提高分析的準(zhǔn)確性和穩(wěn)定性。 此外，降溫機(jī)構(gòu)和真空度穩(wěn)定機(jī)構(gòu)是穩(wěn)定的標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備。
X-Y-θ 驅(qū)動(dòng)級(jí)
X-Y-θ驅(qū)動(dòng)樣品臺(tái)和測量方向設(shè)置程序可以在整個(gè)晶圓上精確測量薄膜厚度和成分分布。 鐵電薄膜也不受衍射光束的影響。
應(yīng)用
半導(dǎo)體器件BPSG，SiO2四3N4、??摻雜多晶硅（B，P，N，AS）， Wsix、??Al-Cu， TiW， TiN、TaN， PZT， BST， SBT， ??MRAM、?? 金屬膜 W， Mo， Ti， Co， Ni， Al， Cu， Ir， Pt， Ru， ? 磁盤 CoCrTa， CoCrPt， DLC， ?
NiP， ?
磁光盤 Tb-FeCo， ? 磁頭 GMR， TMR， ?
廣泛的固定測角儀產(chǎn)品陣容
我們根據(jù)膜厚和膜結(jié)構(gòu)提供最合適的固定測角儀。 我們還在準(zhǔn)備一個(gè)專用的光學(xué)系統(tǒng)，可以分析硅晶圓上的Wsix薄膜。
全自動(dòng)日常管理功能自動(dòng)校準(zhǔn)
為了獲得準(zhǔn)確的分析值，必須對儀器進(jìn)行正確校準(zhǔn)。 為此，必須定期測量檢查晶圓和PHA調(diào)整晶圓作為管理晶圓，以保持設(shè)備的健康狀況。 這種常規(guī)校準(zhǔn)工作是自動(dòng)化的，減少了操作員的工作量。 這就是AutoCal功能。
與 C-to-C 自動(dòng)輸送兼容
除了開放式暗盒外，還支持 SMIF POD。 兼容200mm以下的晶圓。 此外，還可以與主機(jī)進(jìn)行SECS通信，并支持各種CIM/FA格式。
緊湊節(jié)能設(shè)計(jì)
主機(jī)占地面積1m2下面的緊湊型設(shè)計(jì)。 無油變壓器的使用也使輔助設(shè)備更加緊湊和節(jié)能設(shè)計(jì)。
規(guī)格/規(guī)格
| 產(chǎn)品名稱 | WDA-3650 |
| 技術(shù) | 同步波長色散X射線熒光光譜儀（WD-XRF） |
| 用 | 200 mm 晶圓的多層堆疊的厚度和成分 |
| 科技 | 4 kW X 射線發(fā)生器，帶 XYθ 樣品臺(tái)，Rh 陽極 WDXRF |
| 主要成分 | 多達(dá) 20 個(gè)通道，固定類型（?Be 至 ??U），掃描類型（??Ti 至 ??U） |
| 選擇 | 靈敏的AD-硼通道，使用C-c-C自動(dòng)加載器進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn) |
| 控制（電腦） | 內(nèi)置電腦，微軟視窗®操作系統(tǒng) |
| 車身尺寸 | 1120（寬）x 1450（高）x 890（深）毫米 |
| 質(zhì)量 | 600公斤（主機(jī)） |
| 權(quán)力 | 三相 200 VAC 50/60 Hz、30 A 或單相 220-230 VAC 50/60 Hz 40 A |
