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X,Y,Z 行程 (毫米):250 x 150 x 50

X,Y,Z 光柵尺分辨率:XY - 0.05 μm, 零膨脹材料,Z - 0.01μm, 零膨脹材料

平臺驅(qū)動(dòng)系統(tǒng):無摩擦高速線性馬達(dá)驅(qū)動(dòng) X&Y, 直流伺服馬達(dá)驅(qū)動(dòng) Z

速度:X,Y - 100 mm/sec   /   Z - 25 mm/sec

承載量:25 kg

光學(xué)系統(tǒng) :單倍放大, 工廠安裝背光的鏡頭和視場交換式前透鏡標(biāo)配為VIEW 1X 背管,5X鏡頭

計(jì)量軟件

可選項(xiàng): Elements

可選項(xiàng)Measure-X

可選項(xiàng)軟件模塊:

區(qū)域多點(diǎn)自動(dòng)ju jiao

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UI操作軟件

MeasureFit   Plus

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3D GD&T 評估軟件

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Benchmark的應(yīng)用范圍包括:

半導(dǎo)體/電子

BGA, μBGA, CSP, 倒裝xin片, MCM, bump-on-die

引線框,引線接合,柔性線路板,連接器

SMT元件貼裝

錫膏/環(huán)氧數(shù)脂膠點(diǎn)

xin片載體和托盒

噴墨打印機(jī)墨盒

光纖組件和MEMs

數(shù)據(jù)存儲

懸置件

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磁盤介質(zhì)基板

精密注塑和機(jī)加工件

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