本設(shè)備要求在海拔1000m以下，溫度25℃±15℃，濕度55%Rh±10%Rh下使用。

1、水：不需要

2、電：AC220V 50Hz，必須有良好接地

3、氣：如作為CVD系統(tǒng)使用，需自備氣源（標(biāo)準(zhǔn)帶有寶塔接頭，可自費(fèi)改制成為雙卡套接頭）

4、工作臺：尺寸1200mm×600mm×700mm，承重300kg以上

5、通風(fēng)裝置：需要

技術(shù)參數(shù)

1、電源：AC 220V  50Hz/60Hz   4KW

2、剛玉管：外徑?80mm，內(nèi)徑?72mm，長800mm

3、加熱元件：U型硅鉬棒

4、加熱區(qū)域：150mm

5、工作溫度：最高1700℃（<1h），連續(xù)工作800-1600℃

6、控溫精度：±1℃

7、熱電偶：B型

產(chǎn)品規(guī)格

尺寸：490mm×490mm×1130mm；重量：150kg

標(biāo)準(zhǔn)配件

1

剛玉管

1根

2

氧化鋁管堵

4個(gè)

3

不銹鋼法蘭

1套

4

熱電偶

1個(gè)

5

高溫手套

1雙

可選配件

1、KF25轉(zhuǎn)接頭

2、不銹鋼卡套接頭