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美國(guó)Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡

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D9650和上一代產(chǎn)品一樣提供了良好的精度和穩(wěn)健性,增加了一個(gè)合并了PolyGate技術(shù)和Sonolytics的改進(jìn)型的電子與軟件平臺(tái)。D9650是理想的用于失效分析、工藝開(kāi)發(fā)、材料特性和小批量生產(chǎn)的工具。

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Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡

美國(guó)Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡(圖1)

產(chǎn)品原理 :

利用不同材料對(duì)超聲波聲阻抗不同,對(duì)聲波的吸收和反射程度不同,來(lái)探測(cè)半導(dǎo)體、元器件的結(jié)構(gòu)、缺陷、對(duì)材料做定性分析。



特點(diǎn)和優(yōu)勢(shì):

* 帶有Multi-Gate 及Probing-Gate 功能的PolyGate 技術(shù)可以進(jìn)行單一及多層自動(dòng)聚焦成像

* 每頻道多達(dá)100個(gè)Gates

* Windows 10 Sonolytics 2 界面,64字節(jié)處理能力

* 線性馬達(dá)掃描儀可掃描JEDEC托盤(pán)

* 帶有塔式安裝掃描參考平臺(tái)及樣品定位架,更加精準(zhǔn)

* 方便使用掃描區(qū)域使安裝、拆卸更加方便,可以掃描JEDEC托盤(pán)或300mm晶圓片

* 定量的B-Scan是Sonoscan的分析模式(Q-BAM)

* B-Scan模式提供了虛擬橫截面視圖,并帶有準(zhǔn)確的極性、幅值和深度數(shù)據(jù)



Sonoscan D9650 C-SAM 超聲波掃描顯微鏡是新一代聲學(xué)顯微圖像(AMI)技術(shù)革新的一部分。無(wú)論你需要用于失效分析、工藝開(kāi)發(fā)、材料特性和小批量生產(chǎn)或其它的試驗(yàn)室檢查,D9650都會(huì)提供優(yōu)秀的能力。


的Sonoscan 功能增加了價(jià)值和信心,比如Visual PolyGate、移動(dòng)地圖、像素間距等等。具有的大尺寸、容易進(jìn)入的且有燈光照明的掃描區(qū)域,以及它掃描塔的參考掃描和固定裝置使得D9650有能力來(lái)快速的掃描任何樣品,包括從單個(gè)器件到兩個(gè)JEDEC托盤(pán)的器件。


廠務(wù)需求

通用電壓 - 90V到250V AC,單相,50/60 Hz,15安培(120V)

外形–直式桌子:長(zhǎng)寬高 1.89 x 0.74 x 1.58 m (74.5 x 29.0x 61.9 英寸)



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