JSM-7200F的主要特點(diǎn)有：應(yīng)用了浸沒(méi)式肖特基電子槍技術(shù)的電子光學(xué)系統(tǒng)；

利用GB（Gentle Beam 模式）和各種檢測(cè) 器在低加速電壓下能進(jìn)行高分辨觀(guān)

察和選擇信號(hào)的TTLS系統(tǒng)（Through-The-Lens System）；電磁場(chǎng)疊加的混

合式物鏡。

TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）

TTLS（through-the-lens系統(tǒng)）是利用GB(Gentle Beam 模式）在低加速電壓下能進(jìn)行高

分辨率觀(guān)察和信號(hào)選擇的系統(tǒng)。 利用GB（Gentle Beam 模式）通過(guò)給樣品加以偏壓，對(duì)入

射電子有減速、對(duì)樣品中發(fā)射出的電子有加速作用，即使在低加速電壓（入射電壓）下，也

能獲得信噪比良好的高分辨率圖像。

此外，利用安裝在TTLS的能 量過(guò)濾器過(guò)濾電壓，可以調(diào)節(jié)二次電子的檢測(cè)量。這樣在極低加

速電壓的條件下，用高位檢測(cè) 器（UED）就可以只獲取來(lái)自樣品淺表面的大角度背散射電子。

因過(guò)濾電壓用UED沒(méi)有檢測(cè)出的低能 量電子，可以用高位二次電子檢測(cè) 器（USD，選配件）檢

測(cè)出來(lái)，因此JSM-7200F能同時(shí)獲取二次電子像和背散射電子像。