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美能3D顯微鏡ME-PT3000

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ME-PT3000是一款高速共聚焦掃描顯微鏡,可用于精確可靠的3維(3D)測量。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號處理算法可實(shí)現(xiàn)實(shí)時共聚焦顯微圖像。專用于光伏行業(yè)對光伏電池片表面的柵線及絨面進(jìn)行質(zhì)量檢測的光學(xué)儀器。以光學(xué)技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對光伏電池片上的柵線的高度與寬度、絨面上的金字塔數(shù)量進(jìn)行定量檢測,以反饋光伏電池片清洗制絨、絲網(wǎng)印刷工藝質(zhì)量。

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五大分析功能

提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能,粗糙度分析包括線粗糙度、I面粗糙度、平整度等全參數(shù)分析功能;幾何輪廓分析包括臺階高、距離、角度、曲率等特征測量和直線度、圓度形位公差評定等功能;結(jié)構(gòu)分析包括孔洞體積和波谷深度等;頻率分析包括紋理方向和頻譜分析等功能;功能分析包括SK參數(shù)和體積參數(shù)等功能。

強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能

提供調(diào)整位置、糾正、濾波、提取四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能,其中調(diào)整位置包括圖像校平、鏡像等功能;糾正包括空間濾波、修描、尖峰去噪等功能;濾波包括去除外形、標(biāo)準(zhǔn)濾波、過濾頻譜等功能;提取包括提取區(qū)域和提取剖面等功能。

廣泛的應(yīng)用領(lǐng)域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進(jìn)行測量和分析。

高精度、高重復(fù)性

采用針孔共聚焦光學(xué)系統(tǒng)、高穩(wěn)定性結(jié)構(gòu)設(shè)計、優(yōu)異的3D重建算法組成測量系統(tǒng)保證測量精度高

?測量與分析同界面操作,無須切換,測量數(shù)據(jù)自動統(tǒng)計,實(shí)現(xiàn)了快速批量測量的功能

?可視化窗口,便于用戶實(shí)時觀察掃描過程

?結(jié)合自定義分析模板的自動化測量功能,可自動完成多區(qū)域的測量與分析過程

?幾何分析、粗糙度分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全

?一鍵分析、多文件分析,自由組合分析項(xiàng)保存為分析模板,批量樣品一鍵分析,并提供數(shù)據(jù)分析與統(tǒng)計圖表功能

?可測依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT等標(biāo)準(zhǔn)的多達(dá)300余種2D、3D參數(shù)

項(xiàng)目 內(nèi)容
顯微物鏡 10×、20×(選配)、50×、100×
光學(xué)原理 共聚焦三維成像原理
視野尺寸 1.2×1.2mm~0.12×0.12mm
綜合放大倍率 198-39966
光源 白光LED
受光元件 超高精細(xì)彩色CMOS
Z軸測量重復(fù)性 <0.5%
在環(huán)境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測量4.7um標(biāo)準(zhǔn)臺階樣塊
Z軸測量精度 ±1.5%
Z軸顯示分辨率 1nm
Z軸掃描范圍 10mm
XY軸測量重復(fù)性 <0.5%
在環(huán)境溫度20 ±2 °C下用50X物鏡測80um標(biāo)準(zhǔn)樣塊
XY軸測量精度 <0.5%
載物臺移動范圍 230 x 230mm
載物臺負(fù)載 10kg
Mapping測量功能 可按模板進(jìn)行多個區(qū)域的自動測量
光源壽命 60000小時
絨面金字塔測量 1、表面二維、三維結(jié)構(gòu);
2、單個金字塔的高寬測量;
3、金字塔計數(shù)功能:可自動統(tǒng)計出單位面積內(nèi)的晶粒數(shù)量,并在視圖上以十字符號標(biāo)記出晶粒位置,不同規(guī)格金字塔的數(shù)量分布圖。
柵線測量 1、柵線高度、寬測量功能:單視場內(nèi)的剖面線數(shù)量可調(diào)節(jié)為不低于12條,高度和寬度數(shù)據(jù)自動計算,且自動計算出高寬比;同時提供高寬比的終端用戶輸入標(biāo)稱值功能,并可根據(jù)標(biāo)稱值自動進(jìn)行OK/NG的判定;
2、柵線區(qū)域自動劃分功能:可自動圈出柵線的邊緣,并自動計算出該區(qū)域內(nèi)柵線的面積、體積等參數(shù);
3、柵線自動測量功能:具備多條柵線的自動搜索測量功能,能夠根據(jù)不同規(guī)格的基板來生成測量模板并完成自動測量。
Pad點(diǎn)測量 1、將Pad點(diǎn)按6×7分區(qū)域測量,通過拼接可得到3D全形貌;
2、彎曲起伏的形貌表面進(jìn)行高度差異的測量,由此可以分析Pad點(diǎn)的印刷效果。
真彩圖像功能 可掃描出表面的真彩圖像,以便進(jìn)行污染區(qū)分
凹槽測量功能 針對上下同寬凹槽、上寬下窄凹槽,均能夠進(jìn)行較好的3D輪廓圖像重建并實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的深度和寬度測量分析
鏡頭防撞保護(hù) 軟件ZSTOP設(shè)置限位防撞保護(hù)、硬件電子傳感器防撞保護(hù)
噪聲評價 具備納米級分辨率的環(huán)境噪聲檢測功能模塊
表面形貌重復(fù)性Str 具備表面形貌重復(fù)性Str參數(shù)的一鍵式分析功能
外形尺寸 540*379*594mm
總重量 45kg
工作電源 AC220V/50Hz
工作環(huán)境 溫度10℃~35℃,溫度梯度 < 1℃/15分鐘,濕度30~80% 振動<0.002g,低于15Hz


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