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3950-00 小型粒子計數(shù)器

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簡單介紹: ?性的技術(shù)革新,致輕、致小,**實現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中? 2.83L/min,同時測試0.1、0.3μm微小粒子? 4.3英寸彩色觸摸顯示屏? 可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)? 設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口

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詳情介紹:


· 性的技術(shù)革新,致輕、致小,**實現(xiàn)了嵌入組裝在半導(dǎo)體制造等裝置中

·  2.83L/min,同時測試0.1、0.3μm微小粒子

·  4.3英寸彩色觸摸顯示屏

·  可使用附帶軟件在PC上顯示測試數(shù)據(jù)

·  設(shè)有RS-485、Ethernet、USB通訊接口

Kanomax 超小型粒子計數(shù)器3950-00

    名

塵埃粒子計數(shù)器

    號

3950-00

粒子測量

測試方法

光散射法

粒徑通道

2粒徑(0.1、0.3μm)

額定流量

0.1CFM(2.83L/分)、精度±5%、(符合JIS B9921和ISO21501-4)

測量時間

6秒~99分59秒(1次測量時間)

間隔時間

6秒~99分59秒(測量周期)

采樣次數(shù)

1~999次 或 連續(xù)測試

地點設(shè)定

99個地點

測量方式

重復(fù)、單次、連續(xù)、計算

測量數(shù)據(jù)顯示時間

1~10秒

測量數(shù)據(jù)顯示

累計值∑ 差分值△及柱形圖

*大可測濃度

10,000,000個/m3

計數(shù)效率

50±20%(相對于*小可測粒徑附近的PSL粒子)
100±10%(相對于*小可測粒徑的1.5倍~2倍的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)

 計 數(shù)

<1個/35min

粒徑分辨率

15%以下(相對0.3μm的PSL粒子)
(符合JIS B9921 和 ISO21501-4)

    源

內(nèi)置泵

顯示器

4.3英寸彩色液晶 觸摸屏

通迅功能

    體

USB(Host用于打印機、USB存儲;Device用于與PC鏈接)
Ethernet、RS485(9600、19200、38400 baud)

數(shù)據(jù)存儲

    體

內(nèi)存

數(shù)量、格式

*大10,000個、CSV格式

顯示語言

英文、日語

  源

AC100~240V

使用環(huán)境

    體

15~35℃、0~85%RH (無結(jié)露)

外形尺寸

W150 X H163 X D228 mm

   量

3.4kg



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