日立SU7000場發(fā)射掃描電鏡
參考價 | 面議 |
- 公司名稱 中山安源儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 所在地 中山市
- 廠商性質(zhì) 其他
- 更新時間 2024/3/14 20:47:51
- 訪問次數(shù) 74
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特點核心理念采用優(yōu)異的成像技術(shù)SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結(jié)構(gòu)等多種檢測信號
隨著用戶對樣品數(shù)據(jù)的需求更加多元化,對檢測系統(tǒng)在短時間內(nèi)捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統(tǒng)可以在不改變WD等條件的前提下,更高效地獲取形貌、成分、晶體學(xué)以及發(fā)光等信息。真正實現(xiàn)了更快速、更全面的信息收集。
樣品:包裹有機物的金屬棒
樣品提供:Vassar College, Chemistry Dept.
Mr. Smart and Ms. Pineda
通過UD、MD、LD探測器同時采集信號的應(yīng)用實例 (加速電壓:1 kV)
通過UD、MD、LD探測器可以同時采集信號,UD可獲取表面微細形狀信息,MD可獲取表面有機物包覆狀態(tài)信息,LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個條件下,實現(xiàn)了獲取信息的。
使用單屏?xí)r,可以單通道、雙通道、四通道顯示樣品信息,也可以顯示CCD相機圖像、樣品臺圖像/SEM MAP圖像等。而且操作畫面上的工具欄可以任意移動、添加和刪除。
1st顯示屏專門用來顯示圖像,2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖(1st顯示屏)是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現(xiàn)出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖(2nd顯示屏)將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個畫面中顯示,界面布局清晰明了。在實現(xiàn)實時監(jiān)控圖像的同時,操作性能也得到了進一步提升。
樣品倉外觀
標配18個附件接口
馬達臺外觀
XY軸可移動距離為135×100 mm
樣品倉可搭載直徑為φ 200 mm;80 mm的樣品。大開倉設(shè)計,標配18個附件接口。樣品臺可搭載XY軸移動距離為135×100 mm,最重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺不成問題。
通過相機拍攝樣品
將相機拍攝到的圖像顯示到SEM MAP畫面上進行導(dǎo)航
SU7000可選配導(dǎo)航相機(*),迅速鎖定要觀察的位置。相機安裝在樣品倉內(nèi),插入樣品后,可半自動拍攝樣品的整體圖像。該圖像會被顯示到導(dǎo)航畫面(SEM MAP)窗口,因此,用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。適用尺寸為φ 100 mm。
(*)可選配相機。SU7000可用于環(huán)境改變的動態(tài)觀察。低真空觀察時,可以選用PD-BSED(背散射電子探測器)、UVD、MD等各種探測器(**)。
低真空環(huán)境的探測器選擇
左圖為通過MD(背散射電子),右圖為通過UVD(二次電子)探測器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現(xiàn)出氧化物的分散狀態(tài)和纖維的堆積情況。
PD-BSED:響應(yīng)速度提高
左圖是以一般的響應(yīng)速度,約每兩秒掃描一次得到的圖像;右圖抑制了圖像的漂移,使得整體的畫質(zhì)得到了大幅提升。隨著響應(yīng)速度的提高,更適用于In-Situ觀察。
(**)可選配PD-BSED、UVD。
規(guī)格
項目 內(nèi)容 圖像分辨率 二次電子分辨率 0.8 nm/15 kV 0.9 nm/1 kV 放大倍率 20~2,000,000 x 電子槍 發(fā)射體 ZrO/W熱場發(fā)射(肖特基熱場發(fā)射) 加速電壓 0.1~30 kV (步進:0.01 kV) 束流 200 nA 探測器 標準探測器 UD (上探測器) MD (中探測器) LD (下探測器) 選配探測器*1 PD-BSED (半導(dǎo)體式背散射電子探測器) UVD(高靈敏度低真空探測器 ) 低真空模式*1 樣品倉壓力范圍 5~300 Pa 可使用探測器 PD-BSED, UVD, UD, MD, LD 馬達臺 馬達臺控制 5軸馬達驅(qū)動 移動范圍 X 0~135 mm Y 0~100 mm Z(WD) 1.5~40 mm T(傾斜角) -5~70° R(旋轉(zhuǎn)角) 360° 樣品尺寸 直徑:φ200 mm, 高度:80 mm 顯示器*1 23英寸LCD (1,920×1,080), 支持雙屏 圖像顯示模式 全屏顯示模式 1,280×960像素顯示 單屏顯示模式 800×600像素顯示 雙屏顯示模式 800×600像素顯示、1,280×960像素顯示 *2 四屏顯示模式 640×480像素顯示 六屏顯示模式*2 640×480像素顯示 *2 圖像數(shù)據(jù)保存 保存圖像尺寸 640×480、1,280×960、2,560×1,920、5,120×3,840、10,240×7,680 選配附件 能譜儀(EDX) X射線波譜儀(WDX) 電子背散射衍射(EBSD) 陰極熒光探測器(CL) 冷凍傳輸系統(tǒng) 各種功能樣品臺
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