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深紫外飛秒激光器

參考價(jià) 0.01
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京卓立漢光儀器有限公司
  • 品牌
  • 型號(hào)
  • 所在地 北京市
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2024/5/10 10:53:03
  • 訪問次數(shù) 184

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以可調(diào)諧的鎖模鈦寶石激光器作為基頻光源,經(jīng)過多級(jí)倍頻/和頻來產(chǎn)生 192-200nm 波段的深紫外 超短脈沖激光

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深紫外飛秒激光器概述

以可調(diào)諧的鎖模鈦寶石激光器作為基頻光源,經(jīng)過多級(jí)倍頻/和頻來產(chǎn)生192-200nm波段的深紫外超短脈沖激光(圖1)。
深紫外飛秒激光器
圖1. 192-200 nm超短脈沖激光產(chǎn)生方案示意圖
基于基頻光源的不同選擇,激光波長(zhǎng)還可以實(shí)現(xiàn)大范圍的調(diào)諧,最大范圍可覆蓋192-300 nm波段,且連續(xù)可調(diào)。另外還可輸出覆蓋二次諧波(375-500 nm)、三次諧波((230-300 nm)波段的可見、紫外超短脈沖激光。
另外,基頻光源也可選擇1 μm波段(1064 nm、1030 nm)鎖模激光器,可獲得四次諧波(~260 nm)和五次諧波(~210 nm)的紫外激光。
深紫外飛秒激光器
圖2. 激光器實(shí)物圖(192-300 nm連續(xù)調(diào)諧,尺寸1300*600*200mm3,不含基頻源)
技術(shù)特點(diǎn):
· 覆蓋深紫外、紫外、可見光的大范圍波長(zhǎng)調(diào)諧
· 電動(dòng)控制波長(zhǎng)調(diào)諧
· 高指向穩(wěn)定性
· 圖形化人機(jī)交互界面
· 波長(zhǎng)可擴(kuò)展
深紫外飛秒激光器應(yīng)用領(lǐng)域:
· 超快光譜探測(cè)
· 高精密激光加工
· 熒光壽命探測(cè)
· 非線性光學(xué)
2. 基頻光源技術(shù)參數(shù)
典型的基頻光源可選擇Coherent公司CHAMELEON 系列鈦寶石激光器或Spectra-Physics公司的Maitai HP系列激光器。主要技術(shù)指標(biāo)如下:
技術(shù)指標(biāo)典型參數(shù)
波長(zhǎng) 780 nm或波長(zhǎng)可調(diào)諧 根據(jù)需求固定激光波長(zhǎng),或可調(diào)波長(zhǎng)
脈沖寬度100 fs、50 fs
重復(fù)頻率 80 MHz
光束質(zhì)量M2<1.3
功率 ~2.5W@780 nm 取決于最終需求的深紫外激光功率,2.5W基頻光對(duì)應(yīng)于約4mW的195nm激光功率
3. 輸出技術(shù)指標(biāo)
(1)195 nm激光輸出功率約4 mW(基頻功率>2.5W@780nm).
(2)195 nm激光輸出功率約0.5 mW(基頻功率>1.4W@780nm)
技術(shù)指標(biāo)典型參數(shù)
波長(zhǎng)195nm或波長(zhǎng)可調(diào)諧192-300nm根據(jù)需求固定激光波長(zhǎng),或可調(diào)波長(zhǎng)
脈沖寬度~500fs@266nm基頻光脈沖寬度100fs時(shí)測(cè)試結(jié)果
重復(fù)頻率80MHz
功率~4mW@195nm典型調(diào)諧功率見下圖((基于MaitaiHP基頻源測(cè)試)

深紫外飛秒激光器
圖3.各波段激光輸出功率:
(a)二次諧波;(b)直接四次諧波;(c)三次諧波;(d)四次諧波(和頻)。



北京卓立漢光儀器有限公司

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