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生產(chǎn)型等離子清洗機TETRA 150 產(chǎn)品說明： 150L的生產(chǎn)型等離子清洗機TETRA 150可滿足不同的生產(chǎn)需求，可組成和不同的生產(chǎn)模塊系統(tǒng)，接受客戶定制。 應用領域： 主要應用領域有：考古 汽車 生物技術(shù) 彈性體技術(shù) 電子技術(shù) 電子顯微鏡 精密工程 研究和開發(fā) 半導體技術(shù) 小批量生產(chǎn) 塑料技術(shù) 醫(yī)療技術(shù) 微系統(tǒng)技術(shù) 太陽能電池技術(shù) 紡織技術(shù) 。 在線咨詢
清洗： 工藝部件的表面通過離子束的物理轟擊而被清洗，也可與特定氣體發(fā)生化學反應從而被清洗，清洗掉的工藝污染物轉(zhuǎn)化為氣相被排出。如：去除有機污染物，去除納米級微粒，去除氧化層。
活化：工藝部件表面通過氧氣或空氣處理后，會在表面形成氧原子團，這樣能使部件表面親水性和表面張力提高，能使涂料和粘接劑更好的附著于上，提高其的粘合力和附著力。
如：PDMS鍵合，粘接前的預處理，涂裝前的預處理，印刷前的預處理。
蝕刻：工藝部件表面通過特定氣體達到精確濺射，表面材料被剝離，轉(zhuǎn)變成氣相被排出，濺射后的材料表面積增大并更易濕潤，也使材料表面更粗糙化。通過改變工藝參數(shù)可使材料表面蝕刻出一定的形狀。如：硅蝕刻，PTFE/PFA/FEP蝕刻，光刻膠去除。
涂層：使工藝部件表面發(fā)生等離子聚合反應，前驅(qū)單體導入等離子真空腔室后使其電離并沉積至材料表面，隨即發(fā)生聚合反應，形成聚合物層。如：疏水層，親水層，保護/阻隔層，干潤滑層，疏油層。
| 主要技術(shù)參數(shù) | 1． 便捷的FULL PC觸摸屏控制系統(tǒng) 2． 根據(jù)工藝要求不同，可設定功率、壓強、氣體流量與時間等參數(shù) 3． 三路工作氣體（可通多種氣體O2、N2，Ar），氣體流量通過數(shù)字式流量計（MFC）控制 4． *反應艙為不銹鋼制，L400xD625xH600mm ，容積為150L 5． 反應艙門鋁制，帶有玻璃觀察窗 6． 樣品托盤：十層，W340*D580mm/層 7． 配有Pirani壓力計，實時數(shù)字顯示反應艙的壓力值 8． 高周波電流頻率13.56MHz功率0~600W （或者0~1000W） 9． 反射波自動調(diào)節(jié)，無須手工調(diào)節(jié) 10． 電極材質(zhì)為鋁/不銹鋼 11． 真空泵為Leybold D65B LVO 100，排氣速度65m3/hour，配有氧氣強制進氣閥 12． 配有壓力傳感器，可根據(jù)工藝要求設定壓力值 13． 600mm(L)*800mm(D)*1700mm(H)(含電源線突出部分) 14． 電源電壓：三項AC400V 32A |
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