光學:明場金相顯微鏡50x~500x(可選配100x物鏡)
光學:明場金相顯微鏡50x~500x(可選配100x物鏡)
光柵尺:0.5um進口光柵尺(可選配0.1um/1um光柵尺)
計數器:內置RS232可進行數據輸出
平臺:
規(guī)格 | 金屬臺面尺寸 | 玻璃臺面尺寸 | 形程 | 最小分辨率(可選)mm |
12*8 | 500*350 | 350*250 | 300*200 | 0.001/0.0005/0.0001 |
8*6 | 400*280 | 245*192 | 200*150 | 0.001/0.0005/0.0001 |
6*4 | 300*250 | 204*145 | 150*100 | 0.001/0.0005/0.0001 |
4*4 | 285*240 | 170*145 | 100*100 | 0.001/0.0005/0.0001 |
測量精度 | 所有星號的載物臺均達到(3+L/50)um的精度,更高要求可選購高精度型載物臺,測量精度達(1.5+L/100)um(L為被測長度,單位:mm) *使用高精度載物臺時,推薦使用10倍以上物鏡,溫度及環(huán)境必須達到標準 |
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