亚洲欧洲日韩中文字幕,久久99精品国产自在现线小黄鸭,女教师巨大乳孔中文字幕,亚洲日韩精品欧美一区二区一


免費注冊快速求購


分享
舉報 評價

PICOSUN™P-300S

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

該廠商其他產品

我也要出現在這里

PICOSUN™P-300S The PICOSUN™ P-300S型原子層沉積系統(tǒng)是一款批量生產型設備, 用于加工IC部件, 例如: 微處理器、存儲器、硬盤; 并可加工打印讀頭、傳感器和麥克風等各種MEMS器件。

詳細信息 在線詢價

PICOSUN™ P-300系統(tǒng)已經成為高產能ALD制造業(yè)的新標準。擁有熱壁、獨立的前驅體管路和特殊的載氣設計, 確保我們可以生產出具有優(yōu)異的成品率、低顆粒水平和的電學和光學性能的高質量ALD薄膜。高效緊湊的設計使得維護更加方便、快捷, 減少了系統(tǒng)的維護停工期和使用成本。擁有Picoflow™使得在超高深寬比結構上沉積保形性 薄膜更高效, 并已在生產線上得到驗證。

PICOSUN™ P-300S系統(tǒng)代表了的工業(yè)化   ALD工藝。這個系統(tǒng)是為全自動的批量生產而設 計, 并與工業(yè)標準化的真空集群平臺相結合進行 單片操作。 P-300S系統(tǒng)通過SEMI S2/S8認證,可以通過SECS/GEM整合到自動化生產線上, 并能滿足半導體行業(yè)嚴格的清潔要求。

The PICOSUN™ P-300S是IC行業(yè)創(chuàng)新驅動企業(yè)的 ALD系統(tǒng)!


襯底尺寸和類型

?    300mm單片晶圓

?    高深寬比基底(深寬比1:2500)


工藝溫度

?    50 – 500°C


標準工藝

?   批量生產的平均工藝時間小于10秒/循環(huán)*

?   Al2O3, SiO2, Ta2O5, HfO2, ZnO, TiO2, ZrO2,AlN, TiN以及各種金屬

?    同一批次薄膜不均勻性<1% 1σ

(Al2O3, WIW, WTW, B2B, 49pts, 5mm EE)**


基片裝載

?    預真空室安裝磁力操作機械手

?    全自動裝載, Picoplatform™ 200或 Picoplatform™ 300真空集群系統(tǒng)

?    通過集群系統(tǒng)進行盒對盒式FOUP裝載

?     氮氣柜裝載


前驅體

?    液態(tài)、固態(tài)、氣態(tài)、臭氧源

?    源瓶余量傳感器,提供清洗和裝源服務

?     6根獨立源管線, 最多加載12個前驅體源



同類產品推薦


提示

×

*您想獲取產品的資料:

以上可多選,勾選其他,可自行輸入要求

個人信息:

琼海市| 工布江达县| 和政县| 太湖县| 澜沧| 合川市| 乌鲁木齐市| 双辽市| 凤山县| 英德市| 兰西县| 青河县| 通江县| 庆阳市| 芜湖县| 客服| 英吉沙县| 翁源县| 罗甸县| 桃江县| 周宁县| 普兰店市| 荔波县| 斗六市| 常山县| 朔州市| 永丰县| 墨江| 醴陵市| 民县| 山东省| 巧家县| 合作市| 凤庆县| 青铜峡市| 呼伦贝尔市| 伊宁市| 遂昌县| 汤阴县| 台中市| 涞源县|