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NEXIV VMZ-K系列

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突破性的多功能共聚焦影像測量系統(tǒng)融合了共焦技術(shù),具有15倍變焦的明視野和激光自動對焦

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突破性的多功能共聚焦影像測量系統(tǒng)

融合了共焦技術(shù),具有15倍變焦的明視野和激光自動對焦。 無論需要什么樣的幾何測量,二維或三維,檢查和評估都異??焖俸蜏?zhǔn)確。

共焦光學(xué)系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)清晰顯示,便于準(zhǔn)確檢測高對比度樣品邊緣。



產(chǎn)品亮點(diǎn)

精細(xì)凸點(diǎn)和基板圖案

在同一視場內(nèi)結(jié)合15倍變焦明場圖像的2D測量和3D高度測量,可以實(shí)現(xiàn)多樣化測量。


探頭卡

可以根據(jù)位置數(shù)據(jù)一鍵式地進(jìn)行編程??梢允褂胐u家的圖像處理工具自動測量探頭卡上的XYZ坐標(biāo)和共面接觸探頭銷。


精密PCB圖案

尼康du

家的共焦成像技術(shù)可以jing確掃描高反射和低反射率表面。


核心功能


尺寸

image.png



物鏡

標(biāo)準(zhǔn)頭高倍頭
倍率1.5x3x7.5x15x30x
工作距離24mm24mm5mm20mm5mm
共聚焦系統(tǒng) (視野全域高度測量)

標(biāo)準(zhǔn)頭高倍頭
視野8 x 6mm
4 x 3mm1.6 x 1.2mm0.8 x 0.6mm0.4 x 0.3mm
高度測量重復(fù)性 (2σ)0.6µm
0.35µm0.25µm0.20µm
高度解析度0.01µm
明場系統(tǒng) (2D 測量)

標(biāo)準(zhǔn)頭高倍頭
變焦模式電動5段變焦
視野8 x 6mm 到
0.53 x 0.4mm
4 x 3mm 到
0.27 x 0.2mm
1.6 x 1.2mm 到
0.11 x 0.08mm
1.26 x 0.95mm 到
0.1 x 0.074mm
0.63 x 0.47mm 到
0.05 x 0.04mm
光源全系白色LED 透射、反射 ,
白色LED環(huán)光 type 1.5x, 3x 和 7.5x
燈源
白色LED
自動對焦影像對焦 和 TTL激光對焦 (可以掃描)
主機(jī)

VMZ-K3040VMZ-K6555
量程 (X, Y, Z)300 x 400 x 150mm
承載力20kg30kg
允許誤差EUX,MPE EUY, MPE 1.5 + 4L/1000µm
EUXY, MPE 2.5 + 4L/1000µm
EUZ, MPE 1 + L/1000µm
電源 / 功耗AC 100 to 240 V ± 10% 50/60 Hz / 13A to 6.5A
占地大小2500 x 1600mm2500 x 1900mm



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