偏光觀察 微分干涉對比觀察
觀察過濾后只有一個(gè)方向振動的光。適于觀察具有 在檢測金屬、液晶和半導(dǎo)體表面的微小劃痕和階差時(shí)很有效。
特殊光學(xué)特性的材料，如礦石和液晶。
暗視場觀察 亮視場觀察
擋住直射到物體上的光，只觀察散射光，通過高對比度能 最普通的觀察方式，直接觀察從工件表面反射的光。
觀察到在亮視場看不到的劃痕和粉末。
新功能增強(qiáng)Z軸測量精度
● 輔助對焦（FA）
新近研發(fā)的分光棱鏡輔助對焦（FA）提供更銳利的圖案，可在Z軸測量期間提供精確對焦。由于不同物鏡焦深差異導(dǎo)致的測量誤差被降到。
規(guī)格
● 無限遠(yuǎn)系統(tǒng)，管鏡200mm
● 傾斜角度30°，瞳孔距離55-75mm，正像
● 高眼點(diǎn)，大視場WF10/22
● 鼻輪螺紋M26X0.706
● Z軸的長度180mm，微動精度0.002mm，測量精度（at20℃），XY-軸的（2.5 0.02L）um，L=測量長度（mm）在沒有放物體分辨率為0.001mm
● 12V50W反射鹵素?zé)?/span>
● 3W高亮度LED光源
● 可配置輔助調(diào)焦裝置（FA）
技術(shù)參數(shù)
型號 | VMM-8Ⅰ型 | VMM-8Ⅱ型 | VMM-8 Ⅲ型 | VMM-8 Ⅳ型 | VMM-12Ⅰ型 | VMM-12Ⅱ型 | VMM-12Ⅲ型 | VMM-12 Ⅳ型 |
鏡筒 | 1×光學(xué)管徑，雙目目鏡，帶有CCD1/2靶面接口 |
觀察圖像 | 正像 |
觀測方法 | 輔助對焦系統(tǒng) | - | - | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | - | - | 頭部或照明器FA系統(tǒng) | 頭部或照明器FA系統(tǒng) |
微分干涉對比 | 可選微分觀測對比 |
目鏡 | 10X(視場直徑：25mm)，可選十字分劃板，可選：視場直徑：22mm |
物鏡(100x選配) | 95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x | 60mm 5x,
10x,20x,
50x | 95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x | 60mm 5x,
10x,20x,
50x | 95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x | 60mm 5x,
10x,20x,
50x | 95mm 2x,
5x,10x,
20x,50x | 60mm 5x,
10x,20x,
50x |
照明裝置 | 反射照明 | 內(nèi)置孔徑光闌，LED光源，無極亮度調(diào)節(jié)，可選鹵素照明 |
透射照明 | 白色LED照明，無極亮度調(diào)節(jié) |
工作臺 | XY測量范圍 | 200*100 | 200*100 | 200*100 | 200*100 | 300*200 | 300*200 | 300*200 | 300*200 |
快速釋放裝置 | X軸和Y軸（標(biāo)配） |
調(diào)零開關(guān) | X軸和Y軸（標(biāo)配） |
數(shù)顯計(jì)器 | 顯示軸 | 2軸或3軸 |
分辯率 | 0.0005mm（可選0.00002mm） |
具體配置和規(guī)格請，
